판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293757549
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KLA/TENCOR Alpha Step 200은 반도체 제조의 요구를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 웨이퍼의 전기 특성과 구조적 특성을 모두 측정 할 수 있습니다. 이 시스템은 프로세스 모니터링, 프로세스 개발 및 최적화, 장치 특성, 장애 분석을 위한 정확하고 안정적인 데이터를 제공하도록 설계되었습니다. KLA ALPHASTEP 200은 고정밀 이미징, 3D 매핑, 향상된 스텝 높이 측정, 자동 결함 감지 등의 여러 가지 고급 기능과 기술을 제공합니다. 고급 옵틱은 모든 확대/축소 수준에서 전체 웨이퍼의 고해상도 이미지를 제공합니다. 이 단위는 두께 (thickness), 단계 높이 (step height) 및 웨이퍼의 곡률 (curvature) 과 같은 중요한 매개변수를 측정할 때 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공합니다. 기계는 전체 웨이퍼를 매핑하고 웨이퍼의 3D 이미지를 표시할 수 있습니다. 이는 특허받은 모션 보상 (motion compensation) 기술을 사용하여 수행되며, 이는 모션 아티팩트를 줄여 일관되고 안정적인 데이터 세트를 생성합니다. 또한 자동화된 결함 감지 (Automated Defect Detection) 기능을 통해 수작업 없이 빠르고 쉽게 결함 및 비준수를 파악할 수 있습니다. TENCOR ALPHA-STEP 200은 가장 까다로운 반도체 제조 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. 고객 요구 사항을 충족하도록 구성할 수 있는 적응형 자산 (Adaptive Asset) 으로, 추가적인 타사 구성요소 및 소프트웨어 (Customized Solution) 를 통합할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 업그레이드 가능하도록 설계되었으며, 광범위한 소프트웨어 구성 요소와 호환되며, 다양한 사이트와 프로세스에서 손쉽게 확장할 수 있습니다. Alpha Step 200의 고급 이미징, 3D 매핑 및 자동 결함 감지 (Automated Defect Detection) 의 조합은 까다로운 웨이퍼 테스트 및 도량형 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. 높은 수준의 정확성, 반복성, 유연성 (Flexibility) 을 갖춘 반도체 웨이퍼 (Wafer) 제작 프로세스의 품질을 보장하기 위해 강력하고 신뢰할 수 있는 도구입니다.
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