판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293746497

KLA/TENCOR Alpha Step 200 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 정밀 차원 도량형, 표면 마감 분석 및 정성 전기 측정을위한 고성능 도량형 플랫폼입니다. 나노 미터 규모의 정확도로 도량형 데이터를 제공하도록 설계된 이 시스템은 반도체 생산, 장치 특성, 프로세스 최적화 (process optimization) 에 적합합니다. KLA ALPHASTEP 200은 레이저 간섭법 (Laser interferometry) 기술을 사용하여 임계 치수를 포함한 미세한 구조에 대한 표면 특징 및 특징을 정밀하게 측정합니다. 최대 10 배의 해상도로, 이 장치는 크기가 40nm에서 100äm 사이의 구조를 분석 할 수 있습니다. 또한 최대 6 cm2/second의 매우 빠른 스캐닝 속도를 달성할 수 있습니다. 이는 기존 광학 기술보다 훨씬 빠른 속도입니다. TENCOR ALPHA-STEP 200은 또한 산화 깊이 및 에치 깊이 측정, 누출 전류, 접촉 저항 및 Moire 측정과 같은 질적 전기 측정을 수행합니다. 또한이 기계는 RMS 및 피크 투 밸리를 포함한 다양한 측정 모드를 제공합니다. 모든 데이터는 대용량 하드 드라이브에 저장되므로 쉽게 분석, 공유할 수 있습니다. TENCOR ALPHASTEP 200은 복잡한 생산 환경에 완벽하게 통합되어 성능, 정확성, 반복성, 사용 편의성을 완벽하게 조합합니다. 즉, 직관적인 사용자 인터페이스와 레시피 생성, 데이터 아카이빙 등의 자동화된 툴을 통해 설계되었습니다. 또한, 계단 프로브 팁에서 직접 사용할 수있는 다양한 측정 기술은 매우 정확한 웨이퍼 레벨 측정을 제공합니다. 결론적으로, ALPHASTEP 200은 고성능 도량형, 정밀 측정 및 유연한 소프트웨어의 매우 강력한 조합을 제공합니다. 이 도구는 측정 속도, 정확도, 반복 (repeatability) 의 탁월한 조합을 제공하기 때문에 운영 환경에 특히 유용합니다.