판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293671323
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ID: 293671323
Profilometer
Computerized surface profiling incorporating TENCOR Instrument
Programmable X, Y Stage option provides automatic measurements
Programmable X, Y Stage-motorized movement
Up to 9 User-programmable stage positions
Real-time analysis-computer calculation
Continual display for delta average
High resolution-routinely measures below 200 A
5 A of Vertical resolution
400 A of Horizontal resolution
Video micro-scope zooms from 40X to 120X
Optional 90X to 270X
High power and 12X to 36X low power magnifications
CRT Display plus integral thermal printer
Built-in internal shock isolation
Digital data handling
Information display.
KLA Alpha Step® 200은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형에서 최고 수준의 정확성과 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 고급 AOI (Automated Optical Inspection) 기능, Sub-angstrom Step Height 측정 장치 및 다양한 Wafer 및 Chip 특성 응용 프로그램을 지원하는 소프트웨어 도구 모음이 포함됩니다. KLA/TENCOR Alpha Step 200은 모듈식 설계를 사용하여 특정 제조업체 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 이 다목적 기계에는 고해상도 CCD 카메라와 LED 조명이 장착되어 있어 웨이퍼와 장치를 정확하게 광학 검사할 수 있습니다. 사용이 간편한 소프트웨어로 툴의 데이터를 간편하게 모니터링, 분석, 저장할 수 있습니다. KLA ALPHASTEP 200의 핵심은 하위 옹스트롬 스텝 높이 측정 도구입니다. 이 도구는 고급 나노 위치 지정 (nano positioning) 기술을 사용하여 사용 가능한 가장 정확한 단계 측정 값을 제공합니다. 통합 소프트웨어 자산을 사용하면 하위 옹스트롬 스텝 높이 인식 (sub-angstrom step height recognition) 알고리즘 을 통해 달성 가능한 0.05nm 정도의 작은 단계를 빠르고 정확하게 평가할 수 있습니다. TENCOR ALPHA-STEP 200의 다양성은 연구 및 생산 모두에서 다양한 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. 이 모델은 고급 웨이퍼 특성, 결함 분석 및 고급 도량형에 사용할 수 있습니다. 또한, 반도체, MEMS 및 RF 회로에서 나노 구조 및 기타 여러 가지 다양한 제품 유형을 지원합니다. 정확성과 반복성은 ALPHA-STEP 200의 주요 기능입니다. 1 옹스트롬 이상의 데이터 해상도를 달성하도록 설계되었습니다. 정확한 광학 검사 (optical inspection) 와 서브 앵스트롬 스텝 높이 (sub-angstrom step height) 측정의 조합을 통해 사용자는 매우 정확한 측정을 얻을 수 있으며 가장 작은 기능과 결함을 확인할 수 있습니다. 또한, 고급 소프트웨어 제품군을 통해 데이터 출력 자동화, 신속한 프로세스 개선 분석, 프로세스 레시피 평가 등을 수행할 수 있습니다. 또한 KLA/TENCOR ALPHASTEP 200 의 강력한 소프트웨어를 통해 다양한 결함 및 도량형 관련 데이터를 관리, 정리 및 저장할 수 있습니다. 따라서 Wafer 테스트 및 도량형 작업을 사용자 정의하고 최적화할 수 있습니다. 요약하자면, KLA Alpha Step 200은 가장 까다로운 웨이퍼 테스트 및 도량형 어플리케이션에 대한 정확성, 반복성, 정확성을 제공하는 최첨단 장비입니다.
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