판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293652814

KLA/TENCOR 알파 스텝 200 (Alpha Step 200) 은 다양한 반도체 재료에 대한 빠르고 정확한 테스트를 제공하기 위해 설계된 정교한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 평평함 및 표면 지형, 트렌치 깊이, IC 코너 모서리 모따기 및 프로파일, 오버레이, 사이드월 각도, 폼 팩터, 에지 러프 (edge roughness) 등 웨이퍼에 대한 물리적/화학적 직접 분석을위한 포괄적인 매개 변수를 제공하는 완전 자동화 솔루션입니다. 자동화된 x-y 단계를 중심으로 구축 된 KLA ALPHASTEP 200은 표면 점 분석을 사용하여 웨이퍼 재료의 물리적, 전기적 특성을 정확하게 측정합니다. 그 결과, 다양한 산업 공정 (industrial process) 에 대한 종합적인 웨이퍼 테스트를 제공하여, 제품이 요구 사항을 충족하고 빠르고 안전하게 제공됩니다. TENCOR ALPHA-STEP 200은 광학 및 Piezo의 두 가지 감지 시스템을 제공합니다. 광학 장치는 고급 자기와 레이저 기술을 갖춘 혁신적인 3 파장 센서입니다. 따라서 측벽 레이어 프로파일, 트렌치 모서리 모따기, 폼 팩터, 선 너비 및 기타 중요한 기하학 및 모서리 거칠기를 정확하게 특성화할 수 있습니다. 두 번째 감지 기계 인 Piezo는 KLA ALPHA-STEP 200이 웨이퍼 마이크로 구조를 분석 할 수있게합니다. 공기베어링 (air-bearing) 서피스를 사용하여 작은 표면 피쳐를 캡처하여이 도구는 오버레이 정밀도, 선, 너비 및 규칙 중공을 포함한 다양한 피쳐를 감지할 수 있습니다. 또한, 시트 저항, 접촉 저항 및 접합 깊이와 같은 전기 특성을 테스트 할 수 있습니다. 또한 TENCOR 알파 스텝 200 (Alpha Step 200) 은 사용자가 웨이퍼를 신속하게 평가하고 분석 할 수있는 다양한 자동 기능을 제공합니다. 에셋에는 자동으로 결함을 찾고, 위치를 분석하고, 위치와 클래스를 나타내고, 적절한 수정 작업을 시작할 수 있는 패턴 인식 알고리즘이 포함됩니다. 또한, 이 모델은 테스트 자료와 비교할 수있는 테스트 데이터 라이브러리 (Library of test data) 를 제공하여 후자의 사양을 충족시킵니다. 이렇게 하면 사용자가 보다 신속하게 정확한 결과를 얻을 수 있으므로 시간 (time) 과 비용 (money) 을 절약할 수 있습니다. 요약하면, TENCOR ALPHASTEP 200은 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 웨이퍼 재료의 직접적인 물리적/화학적 분석을위한 포괄적 인 매개변수를 제공합니다. 이 시스템은 2 개의 고급 감지 시스템 (Advanced Sensing System) 과 다양한 자동 기능 (Automated Function) 을 통해 다양한 산업 프로세스를 신속하게 평가 및 분석하여 제품 인증과 안전한 제공을 보장합니다.