판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293644262

ID: 293644262
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KLA/TENCOR 알파 스텝 200 (Alpha Step 200) 은 사용자가 웨이퍼 품질의 분석, 특성 및 최적화에 가장 높은 수준의 정확성을 제공하도록 설계된 종합적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 "시스템 '은 여러 종류 의 기판 에 있는 여러 가지 특징 을 동시 에 모니터링, 영상, 측정 하는 능력 을 제공 하는 최초 의 것 이다. 단일 이미징 플랫폼 (single imaging platform) 으로 기판의 여러 측면을 검사, 측정, 분석할 수 있는 다양한 보기 모드를 제공합니다. 이 장치는 자동화된 하이엔드 (High-End) 기능을 갖추고 있어 광범위한 웨이퍼 도량형 작업을 수행할 수 있습니다. 세 가지 이미징 모드가 있습니다. LLS (Laser Line Scanning) 는 표면 지형 매핑을 가능하게합니다. 푸리에 변환 적외선 분광법 (FTIR) 은 매우 상세한 웨이퍼 조성 분석을 허용합니다. 및 White Light Interferometry는 나노미터 수준의 해상도 이미징 및 측정을 가능하게하는 3D 이미징을 제공합니다. 초점 변화 (Focus Variation) 및 현장 조정 초점 (On-spot Adjust Focus) 과 같은 고급 측정 기능을 사용하면 강도와 스텝 높이 측정을 위해 웨이퍼 서피스의 특성을 지정할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 다양한 품질 관리 알고리즘 (Quality Control Algorithms) 및 보고 기능을 제공하여 사용자가 기판의 품질을 모니터링하고 향상시킬 수 있도록 도와줍니다. 이 도구는 작업 효율이 높고 정확하며, 정밀도가 높은 5nm 이하의 픽셀 피치를 달성 할 수 있습니다. 또한 광범위한 동적 범위 설정 (dynamic range settings) 을 통해 사용자는 결과를 극대화하고 생산량을 정확하게 추적할 수 있습니다. 이 자산은 뛰어난 측정 정확도와 정밀도를 가지고 있으며, 이는 하이브리드 이미징 (hybrid imaging) 기술과 강력한 하드웨어 아키텍처를 통해 활성화됩니다. CEEA (Contrast Enhanced Edge Analysis) 및 Focus Metrology와 같은 고급 도구는 뛰어난 성능을 제공하면서 모델의 도량형 기능을 향상시킵니다. 또한, 고급, 자체 교정 자동 초점은 다른 웨이퍼에서 정확한 결과를 제공하는 데 도움이됩니다. 이 장비는 사용자 친화적이고 사용하기 편리하며, 단순하고 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 사용자의 작업 단계를 안내합니다. 자동 검사 설정 (automatic inspection setup) 및 스캔 패턴 선택 (scan pattern selection) 과 같은 여러 기능이 내장되어 있어 시간과 노력을 절감할 수 있습니다. 또한, 시스템은 다양한 기판의 성능을 비교할 수 있도록 컨투어 플롯 (contour plot) 및 웨이퍼의 3 차원 컨투어 플롯 (contour plot) 을 포함한 다양한 시각 형상 도구를 제공합니다. 전반적으로 KLA ALPHASTEP 200은 효율적이고, 정확하며, 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션을 찾는 사용자에게 이상적인 장치입니다. 강력한 기능과 기능으로, 이 기계는 광범위한 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 애플리케이션에 적합합니다.
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