판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293588045

KLA/TENCOR Alpha Step 200은 제품 개발, 프로세스 모니터링, 기술 전송을 지원하는 빠르고 정확한 데이터를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 실리콘, 사파이어, 세라믹 등 다양한 기판에서 인라인 테스트, 프로세스 제어, 결함 분류를 위한 최첨단 기능을 제공합니다. Alpha Step 200에는 2 개의 이중 빔 레이저 스캐너, 변위 단계, 레이저 높이 센서, 매우 정밀 전동 회전 단계가있는 통합 도량형 장치 및 통합 광학 기계가 포함됩니다. 두 개의 듀얼 빔 레이저 스캐너를 사용하면 스텝 높이, 피쳐 모서리, 러프 니스 (roughness) 와 같은 서피스 및 서브어페이스 피쳐의 정확한 측정이 가능합니다. 전체 웨이퍼의 매핑을 통해, 이러한 기능은 공간적으로 위치하고 정확하게 측정 될 수 있습니다. 변위 단계는 샘플을 통해 레이저 빔의 정확한 탐색을 보장하며, 정확성과 반복 성 KLA ALPHASTEP 200을 제공합니다. 레이저 높이 센서는 수직 (또는 스캔) 축을 정의하는 데 사용되며, 통합 도량형 도구에는 고정밀 로터리 액추에이터 (high-precision rotary actuator) 와 전동 회전 단계 (motorized rotation stage) 는 샘플의 연속 3 차원 분석을 제공합니다. 마지막으로, 통합 광학 자산은 전송 된 광원 관찰, 다크 필드 이미징, 형광 이미징 등 다양한 분석 기술을 갖춘 추가 유연성과 제품군을 제공합니다. 이를 통해 TENCOR ALPHA-STEP 200은 지형의 고해상도 획득, 결함 감지, 구성 분포 등 샘플의 심도 있는 특성을 제공 할 수 있습니다. KLA의 TENCOR Alpha Step 200 (Alpha Step 200) 은 인라인 테스트, 프로세스 제어 및 결함 특성을 위한 안정적이고, 정확하며, 비용 효율적인 솔루션을 찾는 고객에게 탁월한 솔루션을 제공합니다. 이중 빔 레이저 스캐닝, 고정밀 전동 회전 단계 (high-precision motorized rotation stage) 및 종합적인 광학 모델의 조합으로 프로세스 모니터링, 기술 전달 및 개발에 대한 빠르고, 정확하며, 종합적인 결과를 보장합니다.