판매용 중고 KLA / TENCOR Alpha Step 100 #9212962

ID: 9212962
Surface profiler.
KLA/TENCOR Alpha Step 100은 KLA Corporation에서 제조 한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 개발, 제조 및 품질 관리 과정에서 고급 반도체 웨이퍼의 특성에 대한 나노미터 수준의 정확성을 제공하는 완전 자동화 된 다이-투-데이터베이스 (die-to-database) 웨이퍼 스텝 앤 스캔 장치입니다. KLA Alpha Step 100에는 매우 정밀한 단계와 1nm 정도의 작은 기능을 정확하게 측정 할 수있는 고급 광학 머신이 있습니다. 또한, 이 도구는 내장 웨이퍼 레벨 측정 기능을 사용하여 전체 웨이퍼 상에서 각 다이를 캡처하며, 고급 교차 플랫폼 (cross-platform) 소프트웨어는 다이 위치, 항복, 항복 동향, 특정 성능 데이터에 대한 실시간 정보를 쉽게 액세스할 수 있습니다. 에셋에는 라이너 및 플랫 형태, 라인 너비 위치, CD 균일성, 라인 에지 거칠기, 서피스 프로파일 측정 등 다양한 다이 레벨 테스트도 포함됩니다. 스텝 스캐닝 (step-scanning) 이미징 기술과 다양한 광학 기술의 조합을 사용하여이 모델은 피쳐 크기를 0.15m 아래로 측정 할 수 있습니다. 이를 통해 TENCOR Alpha Step 100은 고도의 홀로그래픽 테이프, CCD, 디스플레이 및 기타 구조의 특성을 측정하는 데 적합합니다. 또한, 이 장비는 테스트 된 재료에 대해 매우 정확한 결과를 제공하기 위해 설계되었으며, 생산 시간과 효율성을 향상시킵니다. 견고한 디자인은 또한 정확도를 높이고 잘못된 판독을 제거합니다. 이렇게 하면 wafer 테스트 결과가 최고 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 가장 정확하고 반복 가능한 측정 결과를 얻기 위해 알파 스텝 100 (Alpha Step 100) 은 산업 등급 광학 부품과 결합 된 화강암 베이스에 장착 된 공기 베어링 테이블로 설계되었습니다. 이 시스템에는 사용 편이성과 빠른 데이터 검색을 위한 직관적인 사용자 컨트롤 (예: 문맥 인식 메뉴, 직관적인 LCD 디스플레이) 도 포함되어 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR Alpha Step 100은 정확하고, 안정적이며, 사용하기 쉬운 웨이퍼 테스트 및 도량형으로, 고급 반도체 웨이퍼의 특성에 대한 나노 미터 수준의 정확성을 제공합니다. 높은 정확도, 낮은 실패율, 견고한 설계로, 이 기계는 연구 개발, 제조, 품질 관리 목적에 적합합니다.
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