판매용 중고 KLA / TENCOR Aleris HX #9407132

KLA/TENCOR Aleris HX는 다양한 유형의 웨이퍼에 대한 고성능 검사, 테스트 및 특징 지정 도량형 결과를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 정밀 광학 현미경, 자동 샘플 단계, 강력한 분석 소프트웨어로 구성됩니다. 장치 내의 정밀 광학 현미경 (precision optical microscope) 은 전체 웨이퍼 표면이나 개별 사이트의 이미지를 캡처할 수있는 통합 이미징 기능을 제공합니다. 5 배에서 100 배 사이의 배율 조정이 가능한 현미경으로, 사용자는 균열, 공백, 결함 등의 결함을 분석 할 수 있습니다. 현미경은 또한 단일 사이트의 집중된 이미지를 캡처 할 수 있으며, 이는 도량형 (metrology) 목적을위한 매우 상세한 이미지를 생성합니다. 기계의 자동 샘플 단계는 안정적인 웨이퍼 처리 및 높은 처리량을 제공합니다. 600mm 직경 웨이퍼에서 0.02 미크론의 반복 가능성으로 웨이퍼를 분당 30 시프트 (shift) 까지 이동할 수 있습니다. 이 스테이지는 또한 고속 스캔을 제공하여 3 분 이내에 8 인치 웨이퍼 1 회 스캔할 수 있습니다. 이 툴의 강력한 분석 소프트웨어는 통합 사용자 인터페이스 (Integrated User Interface) 와 함께 효율적인 워크플로우 (Workflow) 를 제공하여 처리 시간을 향상시키고 사용자 입력 오류를 줄입니다. 또한 사용자는 대화식 분석 조건을 정의하고, 측정 결과를 분석하고, 상세 데이터를 보고할 수 있습니다. 또한 사용자는 Results Database 를 액세스할 수 있습니다. Results Database 는 데이터 분석 및 비교 기능을 갖춘 사용자 정의된 graphical/tabular Report 를 제공합니다. 전반적으로 KLA Aleris HX는 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 매우 정밀하고 처리량이 높으며 사용자 친화적 인 워크플로를 제공합니다. 기판, 절연체, 저항기 등 다양한 유형의 웨이퍼를 조사하고 특성화하기에 이상적인 모델입니다.