판매용 중고 KLA / TENCOR Aleris HT #9380623
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ID: 9380623
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
Film thickness measurement system, 12"
SpectraFX 1000 HT
(2) Loadports with YASKAWA robot
With Hard Disc Drive (HDD)
2005 vintage.
KLA/TENCOR Aleris HT는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 고성능 마이크로 일렉트로닉 구성 요소 생산을위한 고급 로봇 공학, 시각화 및 측정 기능을 제공합니다. 이 제품은 다양한 테스트 옵션과 웨이퍼 처리 (wafer handling) 기능을 제공하여 비용 및 시간을 최소화하면서 웨이퍼 품질과 처리량을 최대화합니다. KLA Aleris HT는 스캔 및 제한된 스캐닝 기하학에서 웨이퍼 테스트를 지원하며 복잡한 서브 미크론 기능의 다이 투 다이 및 다이-투-에지 검사를위한 SEM (Scanning Electron Microscope) 을 포함합니다. 모듈식 시스템 (Modular System) 은 여러 웨이퍼를 동시에 검사하여 작업 흐름을 사용자 정의할 수 있는 유연성을 제공합니다. TENCOR Aleris HT에서는 빠른 검사 속도와 업계 최고의 5 단 검사 스캔 옵션으로, 최대 50% 빠른 웨이퍼 처리량을 제공합니다. Aleris HT는 고급 테스트 기능 외에도 웨이퍼 도량형도 지원합니다. 여기에는 극도의 고해상도 이미징을 가능하게 하는 독특한 Scanning Near-Field Optical Microscope가 포함되어 있어 나노 미터 정밀도로 다양한 중요한 기능을 측정할 수 있습니다. 고급 스캐닝 커패시턴스 현미경 (Scanning Capacitance Microscope) 을 사용하면 개별 상호 연결 구조의 커패시턴스, 저항 및 기타 전기 특성을 측정 할 수 있습니다. 마지막으로, KLA/TENCOR Aleris HT에는 강력한 웨이퍼 분석 알고리즘 라이브러리 (wafer analysis algorithms) 가 포함되어 있으며, 위쪽에서 아래쪽으로 모든 수준의 웨이퍼 구조에서 결함을 자동으로 감지하고 분리하도록 설계되었습니다. KLA Aleris HT의 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 운영자는 테스트 및 도량형 작업을 손쉽게 구성하고 모니터링할 수 있습니다. 포함 된 내부 감사 추적 기능은 법의학 분석의 경우 추적 가능성을 보장합니다. 이 시스템에는 중앙 위치에서 테스트/도량형 (metrology) 작업을 제어하고 모니터링할 수 있는 원격 액세스 기능도 포함되어 있습니다. 요약하면, TENCOR Aleris HT는 고급, 올인원 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구로서, 고급 로봇 공학, 시각화, 측정 기능을 제공하여 더 빠른 웨이퍼 처리량과 더 큰 정확도로 고품질 마이크로 일렉트로닉 구성 요소를 생산합니다. Aleris HT 는 사용자 친화적인 인터페이스, 강력한 분석 알고리즘 라이브러리 (Library of analysis algorithms), 원격 액세스 기능을 통해 비용을 절감하고 최고의 품질을 보장합니다.
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