판매용 중고 KLA / TENCOR Aleris CX #9205119

KLA/TENCOR Aleris CX는 고급형 웨이퍼 생산 프로세스의 품질 테스트, 특성 및 분석을 위해 제조업체를 돕기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA Aleris CX는 주로 제품 성능, 재료 특성 및 프로세스 수율을 모니터링하고 특성화하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 또는 기타 반도체 칩의 물리적 특성, 전기적 동작, 기타 기능을 효과적으로 측정하고, 안정적인 성능 정보와 정확한 장치 데이터를 얻을 수 있습니다. TENCOR Aleris CX는 치수, 전기 특성 및 모양새와 같은 매개변수를 측정할 수 있습니다. Aleris CX 는 다양한 고급 도량형 툴과 프로세스 모니터링 시스템 (process monitoring system) 을 활용하여 웨이퍼에서 데이터를 수집하고 분석합니다. 여기에는 자동 프로브, 단면 검사, 라인 에지 거칠기 분석, 입자 스캔 및 전자 역 산란 회절 (EBSD) 이 포함됩니다. 자동화된 비전 시스템, 이미지 분석 알고리즘, 공간 필터링 (spatial filtering) 기술을 통해 웨이퍼 피쳐의 정확한 측정 및 특성화가 가능합니다. 또한, 초점 현미경, 디지털 이미징, 스트레스 스테인 매핑 (stress-stain mapping) 과 같은 고급 광학 기술이 재료 구성 및 기타 웨이퍼 특성을 결정하는 데 사용됩니다. KLA/TENCOR Aleris CX가 수집 한 데이터는 종합적인 그래픽 차트 및 보고서를 통해 분석 및 표시됩니다. 이 장치는 생산량 추세, 문제 영역, 결함 수준, 기타 측정 자료 등을 표시하여 제품 성능 및 프로세스 수익률에 대한 자세한 정보를 관리자에게 제공합니다 (영문). KLA Aleris CX는 기존 장비 및 소프트웨어 시스템과 상호 작용하여 운영 라인에 완벽하게 통합할 수 있습니다. 또한 TENCOR Aleris CX는 자체 보정을 수행할 수 있으며, 이를 통해 매개 변수 변경을 수동으로 조정할 필요가 없습니다. 다재다능하고 신뢰성이 높은 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템인 Aleris CX는 고급 웨이퍼 분석 (wafer analysis) 및 특성화가 필요한 조직에 이상적인 솔루션입니다. 이 툴은 복잡한 데이터를 압축 (compressed) 기간에 수집하고 분석할 수 있으므로, 기업의 제품 결함을 빠르고 정확하게 파악할 수 있습니다. 또한, KLA/TENCOR Aleris CX는 다양한 생산 요구 사항을 충족하도록 맞춤형으로 조정할 수 있으며, 기업에서 효율적인 테스트 절차를 수립하고 높은 수율을 달성할 수 있도록 지원합니다.