판매용 중고 KLA / TENCOR Aleris 8500 #9210928
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판매
ID: 9210928
Film thickness measurement system
BBSE 150/VUV
15X UVR
Gate sion Module
STD Stress SFX 1000
Wafer thickness
Stress mapper
AMC Filter
OHT HOKUYO DM 300 DFF G4
OFS 3.1
OLSA V4.3GR
E84 OHT Stop 300DF
CID OMRON V640 V4
2017 vintage.
KLA/TENCOR Aleris 8500은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 고속 플랫폼은 웨이퍼 (wafer) 의 전기/물리적 특성을 정확하게 모니터링하여 품질과 성능을 보장하도록 설계되었습니다. 샘플 속도는 초당 8mm (8mm) 로 최대 500mm까지 최대 여러 웨이퍼 두께를 측정 할 수 있습니다. 멀티 레인 옵션을 사용하면 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼를 동시에 테스트 할 수 있습니다. KLA Aleris 8500은 테스트 및 도량형 프로세스를 단순화하기 위해 다양한 사용자 친화적 기능을 제공합니다. 자동화된 카세터 인덱싱 시스템은 최대 5 개의 카세트 슬롯의 스캐닝 및 픽업을 용이하게하며, 로봇 암 로더 (robotic arm loader) 는 빠르고 정확한 샘플 로딩 및 언로드를 보장합니다. 직관적인 운영 단위는 사용자가 설치 (setup) 에서 보고서 생성 (report generation) 에 이르기까지 전체 테스트 프로세스를 안내합니다. 또한, 직관적인 PC 기반 인터페이스는 사용자 정의 (customization) 에 대한 옵션 (예: 자신의 측정, 계산 및 보정 매개변수 설정) 을 제공합니다. 광학, 열 및 전기 성능 메트릭을 포함한 다양한 최첨단 테스트 및 도량형 매개변수가 TENCOR Aleris 8500에 내장되어 있습니다. 초점과 거리 설정이 자동화되어 있어 고해상도 웨이퍼 (wafer) 이미지를 캡처할 수 있습니다. 또한, 내장 이미징 소프트웨어 제품군은 마커 측정, 교정 치수, 보고서 생성 등을 전체 테스트 프로세스의 일부로 제공합니다. Aleris 8500은 편의성 외에도 탁월한 정확성과 반복성을 보여줍니다. 견고한 엔지니어링 (Robust Engineering) 은 일관된 테스트 결과를 보장하여 정확성을 유지하는 데 필요한 수작업의 양을 줄입니다. 이 기계는 내장형 (in-built) 기능과 맞춤형 기능을 갖추고 있으며, 반도체 업계의 지속적으로 발전하는 요구에 적응할 수 있습니다. KLA/TENCOR Aleris 8500은 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 툴로, 워크플로를 최적화하고 최고 품질의 웨이퍼를 보장합니다. 사전 번들 방식의 하드웨어와 소프트웨어로 구성된 이 고성능 (High Throughput) 플랫폼은 소형 폼 팩터 (Form Factor) 에 뛰어난 성능과 편리성을 제공합니다.
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