판매용 중고 KLA / TENCOR AIT #9389839

Wafer Testing and Metrology Equipment 인 KLA/TENCOR AIT는 고급 반도체 제조 요구 사항에 대한 자동 웨이퍼 검사 및 도량형 시스템입니다. 여러 개의 자동 로봇 공구가 장착 된 금속 프레임 (metal frame) 으로 구성되어 있어 척 (chuck) 테이블의 웨이퍼, 초음파 클리닝, 광학 검사 및 필요한 도량형의 정확한 방향을 설정할 수 있습니다. 이 시스템에는 일반적으로 레이저 간섭계 (Laser Interferometer) 와 장치의 포괄적인 제어가 가능한 소프트웨어 패키지 (Software Package) 가 포함됩니다. 레이저 간섭계 (Laser interferometer) 는 웨이퍼 표면의 거리 또는 위치 변경을 측정하는 데 사용됩니다. 이 단위는 최대 1nm의 정확도로 웨이퍼의 두께 (thickness), 플랫 (flatness) 및 서피스 거칠기 (surface roughness) 를 측정 할 수 있습니다. 이 기계에는 자동 시력 도구 (고해상도 카메라, 광학, 레이저, 조명 포함) 가 포함되어 있으며, 개인화 된 탐지를 위해 프로그래밍 할 수 있습니다. 크랙 (crack), 포함 (inclusions), 입자 (particles), 긁힘 (scratch) 과 같이 웨이퍼 표면에서 모든 종류의 오염 또는 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼에 패턴의 존재를 감지하고 자세한 상관 관계를 생성 할 수 있습니다. 또한, 자산에는 자동 샘플링 (sampling) 및 이미지 획득 (image acquisition) 과 독점 기술이 포함되어 있어 신뢰할 수 있는 데이터 포인트를 산출할 수 있습니다. 예를 들어, wafer 가 찍은 이미지를 미리 정의된 매개변수와 비교하여 균일성 (unifority) 과 일관성 (consistency) 수준을 결정할 수 있습니다. 또한, 이 모델을 사용하면 여러 프로세스를 관리하고 분석 실험을 수행할 수 있습니다. 고급 그래픽 출력 (Graphical Output) 을 통해 운영자가 웨이퍼 (Wafer) 의 경향과 동작을 분석할 수 있는 포괄적인 데이터 분석 도구를 제공합니다. 또한 프로세스 매개변수 (process parameter) 및 최적의 운영 성능에 맞게 조정해야 할 기타 장비 변수를 식별하는 데 도움이 될 수 있습니다. 유연성과 능력으로 인해, KLA AIT는 반도체 산업에서 널리 받아 들여지고 있습니다. 이 시스템은 고속 자동 검사 (Automated Inspection) 및 데이터 수집 기능을 제공하여 운영 속도를 크게 높이고 비용을 절감합니다. 또한, 시간당 최대 800 웨이퍼의 스캔 속도로 검사 시간이 크게 단축됩니다. 전반적으로, TENCOR AIT는 반도체 제조업체가 생산성, 품질, 비용 효율성을 높일 수 있도록 지원하는 고급 장치입니다. 자동화된 툴은 분석 (analysis) 을 위한 안정적인 데이터 포인트를 제공하며, 사용자는 프로세스 최적화를 위해 즉각적인 조치를 취할 수 있습니다. 또한, 자동화 된 비전 머신은 오염 및 결함에 대한 자세한 분석을 제공합니다. 이 도구는 매우 안정적이고 비용 효과적이며, 기업에서 검사 시간을 줄이고 좋은 웨이퍼 (wafer) 수율을 높일 수 있도록 도와줍니다.