판매용 중고 KLA / TENCOR AIT #9252969

KLA/TENCOR AIT는 주로 반도체 산업에서 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. AOI (Automated Optical Inspection) 시스템과 고급 도량형 하드웨어 및 소프트웨어를 결합하여 고속 자동 웨이퍼 스캐닝, 분석 및 측정 기능을 제공합니다. 이 시스템은 대용량 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 을 위해 설계되어 처리량이 향상되고 출시 시간이 단축됩니다. KLA AIT 장치에는 포괄적인 테스트 및 도량형 기능을 제공하기 위해 ATE (Automated Test Equipment) 와 OMS (Integrated Optical Measurement Machine) 가 결합되어 있습니다. 공구의 광학 에셋 (optical asset) 은 결함을 찾고 정확하게 찾는 데 사용되며, 확장도가 높은 소형 형상 장치 (small geometry device) 를 포함한 모든 유형의 트랜지스터를 측정합니다. OMS에는 웨이퍼 전체에 걸쳐 2 ½ m 해상도를 제공 할 수있는 고해상도 카메라 (optical inspection and metrology tools) 가 포함되어 있습니다. TENCOR AIT 모델에는 자동 테스트 및 도량형을위한 PCS (Pattern Control Equipment) 가 있으며 실시간 결함, 모양, 크기 및 색상 데이터를 제공합니다. PCS의 적응 반응 기술 (Adaptive Response Technology) 은 보다 정확한 정렬 및 기능 추출을 가능하게하여 생산량을 크게 증가시킵니다. 이 시스템은 또한 웨이퍼 이동을 모니터링하고 오염을 방지하기 위해 OMS, PCS 및 기타 기술을 통합하는 WTS (wafer tracking unit) 를 갖추고 있습니다. AIT 머신 (AIT machine) 소프트웨어에는 사용자 친화적 인 그래픽 도구 세트가 포함되어 있어 도구의 테스트 및 도량형 (metrology) 기능에 빠르고 쉽게 액세스할 수 있습니다. 데이터 분석 도구 (data analysis tools) 를 내장하여 결과를 신속하게 볼 수 있으며, 패턴 식별 도구 (pattern identification tools) 를 통해 결함 선택 및 분석을 쉽게 수행할 수 있습니다. 에셋에는 프로덕션 라인 진단, 프로세스 제어, 프로세스 최적화를 위한 wafer 분석 기능도 포함되어 있습니다. 간단히 말해서, KLA/TENCOR AIT는 처리량 향상, 출시 시간 단축, 수율 극대화를 위해 설계된 종합적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 이 제품은 고급 도량형 하드웨어와 소프트웨어를 갖춘 통합 AOI 장비를 제공하며, 나노 스케일에서 트랜지스터를 자동으로 테스트, 분석, 측정할 수 있습니다. KLA AIT 시스템은 사용자에게 친숙한 툴과 내장된 데이터 분석 기능을 통해 반도체 제조를 위한 효율적이고 경제적인 옵션을 제공합니다.