판매용 중고 KLA / TENCOR AIT #9239215

KLA/TENCOR AIT (Adaptive Inspection Technology) 는 KLA에서 개발 한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. KLA AIT는 향상된 속도와 정확도로 반도체 웨이퍼를 검사하고 질적으로 특성화하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 고속 독점 이미지 처리 기술과 자동 전기 테스트 (Electrical Testing) 를 결합하여 보이지 않는 생산 수율 부품을 감지합니다. TENCOR AIT의 주요 목표는 웨이퍼 수율을 감소시키는 보이지 않는 결함을 줄이는 것입니다. AIT는 종종 웨이퍼의 미세 구조를 자세히 검사하는 데 사용되는 "제 3 눈" 이라고합니다. 고급 소프트웨어 알고리즘을 사용하여 수율을 줄이는 가장 작고 눈에 보이지 않는 결함을 찾습니다. 이 기계의 내장 머신 비전 (machine vision) 은 표면 토폴로지 및 균일성을 검사하기 위해 웨이퍼 이미지를 캡처하는 고급 센서 (advanced sensor) 배열로 구성됩니다. 그런 다음 이러한 이미지를 분석하여 치수 매개변수 (예: 피쳐, 입자 분포, 동적 결함) 의 변화를 매우 빠른 속도로 감지합니다. 이 시스템은 매크로 검사 중 결합 된 전기 테스트 (combined electrical testing) 와 웨이퍼 서피스 (wafer surface) 이미지를 결합하는 기능에서 독특합니다. 일반적으로 KLA/TENCOR AIT는 결함 이미징 기능이있는 도량형과 이미징의 최첨단 조합을 제공합니다. 이를 통해 웨이퍼 수율을 줄일 수있는 가장 작은 결함조차도 찾을 수 있습니다. KLA AIT는 혁신적인 스캐닝, 검사, 테스트 기능을 통해 최대 10 미크론 (micron) 의 해상도로 생산량 결함을 신속하게 발견하고 정확히 파악할 수 있습니다. 또한 선 너비, 피쳐 높이, 게이트 영역 (gate area) 과 같은 중요한 치수를 식별하고 측정하여 고수율 제품을 확인할 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR AIT는 반도체 제조 공간 (Quality Control) 및 향상된 수익률을 제공하는 회사를 제공합니다. 업계가 반도체 업계에서 경쟁력을 유지할 수 있도록 최소한의 가시적 (visible) 결함, 비가시적 (non-visible) 결함까지도 탐지, 격리, 파악할 수 있다. AIT는 고급 이미징 (Imaging) 및 프로브 (Probing) 기능을 통해 반도체 업계의 기업을 위한 안정적이고 필수적인 도구입니다.