판매용 중고 KLA / TENCOR AIT #9190534

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KLA / TENCOR AIT
판매
ID: 9190534
Patterned wafer surface inspection system.
KLA/TENCOR AIT (KLA Advanced Inspection Technology) 는 웨이퍼에서 결함 원인 기능의 도량형을 식별하고 특성화하는 데 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 완전 자동 로봇 시스템을 사용하여 고해상도 이미지를 캡처합니다. 그런 다음, 패턴 인식 (pattern recognition) 알고리즘을 사용하여 이미지의 미묘한 모양과 패턴을 감지하고, 더 전체적인 웨이퍼 그림을 제공합니다. 결함 감지 및 특성화에 이상적입니다. KLA AIT 장치는 모든 차원 레이어 및 최대 200mm 웨이퍼에서 작동 할 수 있습니다. 또한 고장 웨이퍼 속도가 낮고 수율이 향상되었습니다. 이 시스템을 사용하면 고해상도 (High Resolution) 출력을 통해 결함 이미지를 실시간으로 캡처하고 분석하여 제품 품질 (Quality) 을 향상시킬 수 있습니다. TENCOR AIT 도구는 Fab 생산성 향상, 검사 주기 시간 단축, 총 밀링/연삭 시간 단축을 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. AIT 자산에는 웨이퍼 검사를 단순화하는 직관적인 사용자 인터페이스가 있습니다. 미세한 결함의 포토 마이크로그래프를 수집하고, 이미지와 분류 정보를 고객에게 제공할 수 있습니다. 모델 (Model) 은 결함이 특정 크기 범위에 속하는지, 그리고 해당 속성에 따라 결함을 분류하기 위해 미묘한 모양을 식별할 수 있습니다. KLA/TENCOR AIT 장비는 결함 감지 및 특성을 개선하기 위해 문을 엽니 다. 장치 및 프로세스 검증, 프로세스 지속 가능성, 실패 분석, 다이 로트 수익률 추정 및 거짓 경보 감소에 사용할 수 있습니다. TENCOR 검증된 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 많은 고객 애플리케이션에서 안정적으로 작동합니다. KLA AIT 장치 (KLA AIT 장치) 는 매우 전문적이고 사용하기 쉬운 프로세스 컨트롤러로, 정확도가 높으며, 가장 작은 결함까지도 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 테스트 및 도량형 결과의 변형을 최소화하면서 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 이 툴은 인증 토큰을 관리하고 데이터 전송 프로세스를 안전하게 (Secure Data Transfer Process) 하여 고객 데이터를 보호하고 개인 정보를 안전하게 보호하도록 설계되었습니다. KLA/TENCOR Advanced Inspection Technology는 Wafer Testing 및 Metrology 솔루션을 제공하여 Fabs를 통해 노드 균일성을 높이고, 제품 수율을 줄이고, 장치 및 프로세스 성능을 최적화합니다. TENCOR AIT 자산을 통해, 고객은 스크랩 속도, 거부, 드리프트 처리 등을 대폭 줄이고, Fabs 의 비용 대비 성능을 향상시킬 수 있습니다.
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