판매용 중고 KLA / TENCOR AIT #293595750
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KLA/TENCOR AIT (Advanced Inspection Technology) 는 반도체 제조를위한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 또한 Wafer Fabrication 및 Packaging 프로세스 과정에서 결함을 빠르고, 정확하고, 효율적으로 측정하고 분석할 수 있습니다. 이 고정밀 시스템은 광학 검사, 전자 빔 이미징, 레이저 회절, 전송 전자 현미경 (TEM), 저항 밀도 측정, 입자 감지, cryo-sample 이미징 (CSI), 자동 검토 등 다양한 웨이퍼 테스트, 도량형 검사 및 검사 작업을 수행 할 수 있습니다. 테스트 및 연소 됨. 이 장치의 검사 능력은 웨이퍼 (wafer) 의 독특한 표면 특징을 조사하는 것부터, 샘플에서 매우 작은 입자를 검출하는 것, 칩의 성능 분석을 완료하는 것까지 다양합니다. 통합 탐지 솔루션 (Integrated Detection Solution) 은 처리량 및 시간 절감을 크게 향상시키는 한편, 매우 정확한 결과를 제공합니다. 또한 이미지 분석 자동화 (image analysis automation) 기능을 통해 프로세스 최적화를 지원하는 반복 가능하고 안정적인 메트릭을 제공합니다. 이 기계는 개발 (development) 에서 제조 (fabrication) 에 이르기까지 웨이퍼 (wafer) 생산 프로세스의 모든 단계에 대한 완전 자동 스캐닝, 입자 감지 및 전체 검사를 지원합니다. 이를 통해 OEM 의 품질 기준, 즉 안정성 및 성능을 극대화할 수 있습니다. 이 도구는 고속, 고밀도, 자동 포커싱, SEM 스캐닝을 통합하여 포괄적인 결함 검사를 실시하며, 태양 광 전지에서 메모리 장치 제작에 이르는 광범위한 웨이퍼 (wafer) 기술을 충족합니다. 이 자산은 자동 웨이퍼 테스트 (automated wafer testing) 외에도 다양한 기능을 제공합니다. 수동 (manual) 샘플링 및 완전 자동화 (fully automated sampling) 샘플링을 모두 지원하며 프레젠테이션 및 분석을 위해 즉시 사용할 수 있는 결과를 제공합니다. 또한 제조 (fabrication) 프로세스의 각 단계에서 잠재적 인 오염 원인과 결함 클러스터를 식별하도록 최적화되어 전체 프로세스 제어 (total process control) 를 보장할 수 있습니다. 또한 추적 용이성을 위해 긍정적 인 제품 식별 및 추적을 가능하게합니다. KLA AIT 모델은 이러한 수준의 정확성, 성능, 자동화를 제공함으로써 반도체 제조업체가 생산량을 극대화하고, 제품 비용을 절감하고, 총 생산 비용을 최적화할 수 있도록 지원합니다. 보다 경쟁력 있고 효율적인 운영 제품군으로, EMC 의 제품이 업계 표준 및 고객 기대치를 초과하도록 합니다.
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