판매용 중고 KLA / TENCOR AIT #293587187

KLA / TENCOR AIT
ID: 293587187
Inspection system.
KLA/TENCOR AIT는 제품 개발 및 모니터링을 위해 패라메트릭 값과 테스트 패턴을 특성화하는 높은 처리량 Automated Wafer Testing and Metrology 장비입니다. 이 시스템은 고급 반도체 제조 (advanced semiconductor manufacturing) 용으로 개발되었으며 장치 매개변수 및 피쳐를 확인하는 데 사용됩니다. KLA AIT 장치의 핵심에는 UIM (Universal Interface Module) 이 있습니다. UIM (Universal Interface Module) 은 장치 테스트 구성을 조작하고 제어하고 중요한 테스트 서명을 분석 할 수 있도록 합니다. 이를 통해 설계자는 장치 성능을 특징 지정할 때 객관적인 결정을 내릴 수 있습니다. 또한 UIM은 장치 수준 매개 변수를 쉽게 측정하여 정확한 평가를 가능하게 합니다. TENCOR AIT의 주요 구성 요소에는 테스트 및 도량형을위한 여러 단계가 포함됩니다. 여기에는 다양한 샘플을 처리할 수 있는 고정밀 자동 샘플러 (high precision autosampler) 와 통합 정렬 장치 (integrated alignment machine) 가 포함됩니다. 정렬 도구 (Alignment Tool) 는 반도체 구성의 높은 처리량 요구사항을 충족할 수 있을 만큼 빠르게 장치를 이미지화할 수 있습니다. UIM 은 AIT 가 여러 개의 테스트 채널 결과를 효율적으로 구분할 수 있게 해 줍니다. 또한 UIM은 정교한 신호 처리 및 교정 측정을 수행합니다. 장치 수준에서 정확한 결과를 얻기 위해서는 필수적입니다. UIM 외에도 KLA/TENCOR AIT에는 다중 채널 고속 디지타이저가 포함되어 있습니다. 디지타이저는 테스트 신호를 획득하고 저장하도록 설계되었습니다. 실시간 데이터 분석은 전용 소프트웨어 패키지에 의해 활성화됩니다. 이 패키지는 모든 테스트 채널에서 중앙 (single-viewable) 디스플레이로 데이터를 빠르게 이동할 수 있습니다. 이더넷, PCI, 직렬 및 USB를 포함한 다양한 인터페이스를 KLA AIT에서 사용할 수 있습니다. 이러한 인터페이스 옵션의 유연성을 통해 자산은 기존 반도체 칩과 쉽게 통합 할 수 있습니다. 또한 UIM 은 Device Identifier Interfaces 및 Embedded Contact 를 지원하므로 디바이스 간 자동/수동 테스트 모드를 더욱 쉽고 빠르게 전환할 수 있습니다. TENCOR AIT는 고급 반도체 제조에 귀중한 도구입니다. 자동 테스트 (automatic testing) 와 도량형 (metrology) 의 속도와 정확성과 범용 인터페이스의 유연성을 결합한 것입니다. 대용량, 고속 처리량, 포괄적인 데이터 획득을 통해, AIT 는 디바이스 수준의 매개변수를 측정하고 복잡한 디바이스 구조를 테스트하는 완벽한 솔루션입니다.
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