판매용 중고 KLA / TENCOR AIT XUV #9145311

KLA/TENCOR AIT XUV는 광범위한 산업 및 반도체 응용 프로그램에서 사용하기 위한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 특화된 이미징· 도량형 시스템이다. 광범위한 소재· 구성요소를 정확히 측정하고 검사할 수 있다. KLA AIT XUV는 DUV (Deep Ultraviolet) 싱크로트론 소스를 기반으로하며 수냉식 이미징 광학 및 고급 소프트웨어를 사용하여 고해상도, 비접촉 이미지 및 정확한 측정을 생성합니다. 이 장치는 photolithography, scanning electron microscopy 및 Raman 분광법과 같은 다양한 전문 이미징 기술을 사용합니다. 또한 특성 (property) 및 깊이 (depth) 결함을 감지하고 서피스 피쳐의 정확한 측정과 특성을 제공할 수 있습니다. TENCOR AIT-XUV 는 각기 다른 요구 사항에 맞게 확장이 가능하도록 설계되었으며, 특정 애플리케이션에 가장 적합한 성능 수준을 선택할 수 있습니다. 또한 모듈식 (modular) 방식이므로 사용자는 시스템을 정확한 요구에 맞게 사용자 정의하고 구성할 수 있습니다. 이 도구는 또한 사용자에게 다양한 자동화 및 소프트웨어 옵션 (예: 위치 오버레이, 자동 장애 분석) 을 제공합니다. KLA AIT-XUV에는 임계 치수, 서피스 텍스처, 오버레이 정확도와 같은 매개변수를 검토하고 측정하는 데 필요한 특수 도구가 포함되어 있으며, 나노 배율 결함을 검사합니다. 또한 재료의 특징적인 특징을 식별하고 분류하기위한 고급 광학 (optic) 및 해상도도 포함됩니다. 이러한 도구를 통해 사용자는 정밀도로 반도체 샘플의 마이크로 및 나노 구조를 분석 할 수 있습니다. KLA/TENCOR AIT-XUV는 다양한 디자인과 고성능 덕분에 다양한 산업용, 반도체 어플리케이션에 적합합니다. 미크론 (sub-micron) 기능을 정확하게 이미징하고 특성화할 수 있습니다. 또한 안정적이고 내구성이 뛰어난 작동을 제공하도록 설계되었습니다. 탁월한 유연성을 제공하여 연구, 생산, 품질 관리 (Quality Control) 등 다양한 컨텍스트에서 사용할 수 있습니다.