판매용 중고 KLA / TENCOR AIT XP #9253785

KLA/TENCOR AIT XP는 반도체 장치의 고품질 생산을 보장하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 두께, 도펀트 농도, 저항성, 필름 균일성, 곡물 구조, 전기 마이그레이션, 결함, 패턴 구조 및 다이 데미지와 같은 물리적 전기 특성을 자동으로 테스트하고 측정하여 웨이퍼 품질을 검사하고 검증하도록 설계되었습니다. 이 장치의 핵심은 광학 현미경, 자동화 단계 및 로봇 처리기로 구성됩니다. 현미경에는 도전적인 광학, 장거리 및 확장 된 작업 거리 목표가 포함됩니다. 자동화된 스테이지는 웨이퍼 (wafer) 를 기준으로 공구를 이동시키고 스테이지 좌표와 웨이퍼 기울기 (wafer tilt) 를 모두 제어할 수 있습니다. 마지막으로, 로봇 핸들러 (robot handler) 는 머신에 웨이퍼를 집어 넣는 데 사용되며, 광원을 변경/로드하는 데 사용됩니다. 또한 KLA AIT XP에는 자동 테스트 및 측정 분석, 레이블 없는 결함 감지, 색상 필터 결함 감지, 오버레이 측정 및 분석, 활성 스텔스 기능 등을 제공하는 전체 이미지 분석 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 하드웨어의 속도와 정확도를 활용하여 처리량 (throughput) 과 정확도를 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 이 툴은 포괄적인 보고 및 데이터 시각화 툴을 제공합니다. 이러한 도구를 사용하면 테스트 결과를 비교하여 추세를 파악할 수 있으며, Wafer 제어 차트 (Wafer Control Chart), 실패 분석 (Failure Analysis) 또는 기타 응용 프로그램에 사용할 세부 정보도 내보낼 수 있습니다. 요약하면, TENCOR AIT-XP는 광범위한 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 다양한 자동 테스트, 이미징, 분석 도구를 통해 높은 수준의 정확성과 품질 보증을 제공합니다. 이 모델은 매우 다재다능하며 패턴 구조, 결함, 필름 균일성, 저항성, 도펀트 농도 및 다이 데미지를 조사하는 데 사용될 수 있습니다. 따라서 TENCOR AIT XP는 반도체 장치의 고품질 생산을 보장하기위한 완벽한 장비입니다.