판매용 중고 KLA / TENCOR AIT XP #9204139

KLA/TENCOR AIT XP는 업계 최고의 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 웨이퍼의 프로세스 및 항복 분석을위한 전체 기능 관찰 시스템입니다. 고급 광학, 이미지 분석 및 진동 취소 도구가 장착되어 있습니다. 이를 통해 고정밀 광학 측정과 웨이퍼의 정확한 분석이 가능합니다. KLA AIT XP에는 영역별 LED 조명 장치 (zone-coupled LED lumination unit) 및 다중 밴드 LED 조명 조명기 (multi-band LED illuminated illuminator) 와 같은 고급 조명 기능이 장착되어 있어 샘플의 밝고 균일 한 조명을 제공합니다. 이를 통해 가장자리 정의를 개선하고 대비를 개선하여 다양한 온도, 환경 조건에서 화질 저하를 줄일 수 있습니다. 또한 TENCOR AIT-XP는 광학 및 이미지 해상도 재구성에 강력한 확대/축소 광학을 사용하여 측정 정확도를 향상시킵니다. TENCOR AIT XP에는 프로세스 및 수율 분석을위한 광범위한 특수 기능이 있습니다. 프로세스에서 변칙적인 동작을 감지하기 위한 고급 CD 도량형 (CDM) 및 POF (Point-of-Failure) 알고리즘을 제공하고 항복 손실 영역을 정확히 파악합니다. 또한 깊이 정확도 및 비접촉 프로파일로메트리와 같은 초점 특정 세미 3D 벤치마크를 정량화하는 Scan Map 및 Focus Map 기능도 있습니다. 또한 AIT-XP는 KLA 및 TENCOR Inspection Head Module (IHM) 과 완전히 통합되어 다양한 IHM 모듈과의 인터페이스 중립성을 통해 사용자에게 유연하고 쉬운 통합 옵션을 제공합니다. KLA AIT-XP에는 강력한 진동 취소 툴링 (vbration-canceling tooling) 이 장착되어 있으며, 이 툴은 도량형 과정에서 뛰어난 반복성을 제공하며 도량형 도구에 대한 진동의 영향을 최소화합니다. 이 기계는 온도 조절 (temperature control) 을 제공하여 샘플을 측정하고 반복 가능성을 최적화하는 최적의 환경을 제공합니다. 또한 KLA/TENCOR AIT-XP는 KLA/TENCOR PathFinder 라이브러리의 독립형 자동화 환경에서 사용할 수 있습니다. 이를 통해 포괄적인 GUI (Graphical User Interface) 툴과 강력한 API (Application Programming Interface) 를 포함한 다양한 자동화 툴이 제공됩니다. AIT XP 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 도구는 반도체 웨이퍼의 프로세스 및 항복 분석을 위한 강력하고 풍부한 기능의 자산입니다. 고급 조명과 광학 (optic) 에서 강력한 그래픽 사용자 인터페이스 및 자동화 환경에 이르기까지, 이 모델은 안정적이고 반복 가능한 테스트/분석을 위한 다양한 고급 기능을 제공합니다.