익숙한 KLA / TENCOR AIT XP+ 판매용

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ID#: 78831 제조사: KLA / TENCOR 모델: AIT XP+ 범주: WAFER TESTING AND METROLOGY 장비 세부 정보: Patterned wafer inspection system
8" and 12" Wafer Sizes
CE Marked
Install Type: Through-the-Wall

Cassette Interface:
Handler: 300DFF1P; Mfg: 12/01; Schematic: 0002461-000
(1) 12" FOUP
(1) 8" Open Cassette (Asyst VersaPort MOCA 2200)

Status Lamp

VDB
Mfg: VDB0803
208VAC, 50/60Hz, 1-Phase, 3 Wire

Power Requirements: V 200-240, 3-Phase, 5-Wire, 50/60 Hz

2002 vintage.
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