판매용 중고 KLA / TENCOR AIT XP+ Fusion #9145961
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판매
ID: 9145961
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2003
Patterned wafer dark-field defect inspection system, 8"
System upgraded from AIT2
Wafer shape SNNF (Semi notch no flat)
(2) Cassette ports
Wafer cassette 8 PP: MIRAIAL KM-803P-K
SMIF Interface: No
Laser: Argon ion laser for 75mW 487.9nm
Spot sizes: 7um, 5um, 3.5um
Microscope review objectives: 50x, 100x, 150x
Computer: Yes
Image computer: Yes
Keyboard & floppy disk drive: Yes
Power distribution: Yes
Wafer handler: 8"
Dual open cassette loader: Yes
Robot: Yes
Prealigner: Yes
Blower unit: Yes
Currently crated and warehoused
2003 vintage.
KLA/TENCOR AIT XP + Fusion은 반도체 웨이퍼 제조를 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 자동 웨이퍼 검사 및 도량형 스테이션 (AIT XP), 자동 웨이퍼 톱 (Saw 2000), 박막 도량형 모듈 (FTM) 및 가변 필드 광학 프로파일러 (VPP) 로 구성됩니다. AIT XP + 는 최대 400mm 웨이퍼를 테스트 및 분석 할 수 있으며, 전통적으로 8 인치 웨이퍼에 대한 측정은 최대 20 배 빠릅니다. AIT XP + 는 이미징 기능, 고급 광원 노출 기술 및 비접촉, 고정밀 도량형을 결합한 일체형 웨이퍼 도량형 및 테스트 장치입니다. 첫째, 고급 이미징 기능을 통해 특허를 획득한 알고리즘을 갖춘 Wafer Inspection이 높은 처리량과 정밀도를 달성할 수 있습니다. 둘째, AIT XP + 의 혁신적인 광원 (Light Source) 기술은 웨이퍼의 극한 가장자리에서도 기능을 정확하게 감지하고 측정합니다. 셋째, 고유한 프로파일 통계를 가진 FTM 광원 (FTM Light Source) 은 정확성과 반복성을 제공하는 신뢰할 수있는 품질 제어 도량형 솔루션을 제공합니다. 넷째, VPP는 범프, 서기관, 테이퍼 및 표면 화학과 같은 지형 및 화학 기능에 대한 고정밀도, 제어 가능한 비 접촉 측정을 제공합니다. KLA AIT XP + Fusion은 이러한 기술을 결합하여 빠르고 정확한 웨이퍼 검사 및 도량형을 가능하게 하는 강력한 기계입니다. 정교한 장비는 고급 이미징, 조명, 도량형 기술을 제공하여 샘플 측정이 빠르고 감지 정확도가 향상됩니다. 또한 통합 보고 (Integrated Reporting) 워크플로우를 사용하면 매개 변수에 관계없이 결과를 신속하게 분석할 수 있습니다. 이 툴은 프로세스 수익률 향상, 처리 시간 단축, 제품 신뢰성 향상 등 다양한 고객의 이점을 제공합니다. 또한 KLA 고급 분석 기술을 활용하는 AIT XP + 는 탁월한 데이터 분석 및 프로세스 통찰력을 제공합니다. 결과적으로 TENCOR AIT XP FUSION은 정확성, 안정성 및 성능을 보장하는 완벽한 도구입니다.
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