판매용 중고 KLA / TENCOR AIT UV #9285827

KLA/TENCOR AIT UV는 차세대 도량형 장비입니다. 그 목적 은 제조 환경 에서 생산 되는 "웨이퍼 '의 질 을 측정 하는 것 이다. 이것은 IC 생산에 필수적인 과정으로, 정확한 차원의 정확성과 프로세스 제어가 필요합니다. 이 시스템은 초보라형 환경에서 웨이퍼를 검사하기 위해 여러 가지 기술을 사용합니다. 이 기술은 고급 이미징, 빔 프로파일 링 및 패턴 링 기능을 사용하여 웨이퍼 표면을 나노 미터 정확도로 측정합니다. 여기에는 웨이퍼를 광학 및 음향 매핑하는 것이 포함됩니다. 이미징 장치에는 고성능 초점 현미경이 있습니다. 이를 통해 다른 시스템보다 엄격하고 정확한 분석이 가능합니다. 그것의 해상도와 정확도는 표면 피쳐를 나노 미터 수준으로 측정 할 수 있습니다. 지형, 표면 마무리 및 균일성을 감지 할 수 있습니다. 빔 프로파일링 머신은 2 차원 빔 모양의 측정 기능을 사용합니다. 웨이퍼 표면의 고속 및 정확한 특성화가 가능합니다. 이렇게 하면 웨이퍼 (wafer) 와 기판 사이에 적절한 관계가 존재하도록 할 수 있습니다. 또한 패턴 지정 도구에는 나노미터 스케일 검사 피쳐 전송이 포함됩니다. 이 프로세스는 패턴화된 레이어를 한 기판에서 다른 기판으로 전송하는 데 사용됩니다. 이렇게 하면 프로세스 매개변수를 개선하고 제조 시 필요한 정밀도를 유지할 수 있습니다. 이 고성능 도량형 자산은 우수한 결과와 신뢰성을 제공합니다. "웨이퍼 '의 중요 한 특징 을 측정 할 수 있으며," 웨이퍼' 가 원하는 사양 과 일치 하도록 도와 준다. KLA AIT UV는 지속적인 웨이퍼 생산 품질 및 최적화 된 프로세스 매개 변수의 열쇠입니다. 이 모델은 제조 공정에서 허용 가능한 웨이퍼 (wafer) 만 사용되도록 하는 데 필요한 정확도, 정밀도 및 반복성을 제공합니다.