판매용 중고 KLA / TENCOR AIT UV+ #9228059

KLA/TENCOR AIT UV + 는 반도체 장치의 제작에서 프로세스 제어에 대한 분석 및 피드백을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 UV 이미징 기술을 활용하여 정확한 분석을 위해 고해상도 이미지를 생성합니다. 이 시스템은 1.5 인치 (1.5 인치) 에서 12 인치 (더 큰) 웨이퍼까지 광범위한 장치 제품 크기를 지원하는 광범위한 도량형 기능을 제공합니다. UV + 는 저온 증착 공정에서 CCD (charge-coupled device) 및 고출력 자외선 (UV) 조명을 모두 사용하는 멀티 카메라 장치를 사용합니다. 이러한 카메라 조합은 0.36äm까지 기능을 이미징 할 수 있으며 2D 또는 3D 이미징 모드에 맞게 구성 할 수 있습니다. 기계는 지형, 응력, 형상, 오버레이, 오버레이 등록, 반사율 레벨, 접촉 저항 및 재료 레이어를 포함한 여러 매개변수를 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 이 툴에는 완벽하게 자동화된 분석 및 분석을 위한 자동 인식 툴과 Prober 소프트웨어가 있습니다. 자산 (asset) 용 소프트웨어를 사용하면 사용자 정의 작업을 프로그래밍하여 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 분석을 위한 특정 작업을 수행할 수 있습니다. 이 모델에는 고급 웨이퍼 검사 기능이 있으며, 특수 알고리즘을 사용하여 거칠기, 공백, 패턴 시프트, 브리징, 부족한 피쳐 등의 패턴 결함을 감지합니다. 또한 다양한 고급 재료 및 고급 회로 (예: 탄소 나노 튜브 및 비휘발성 메모리 장치) 를 검사 할 수 있습니다. 분석 방법을 사용하여 에치 레이트, 임계 값 전류, 트랜지스터 특성, 스태킹 분산과 같은 다른 재료 관련 피쳐를 감지하고 측정할 수도 있습니다. 이 장비에는 향상된 웨이퍼 (wafer) 수율 및 프로세스 제어를 제공하는 청소 및 처리 기능이 있습니다. 또한 웨이퍼 처리를 자동화하는 내장 처리 프로세스가 있습니다. 이 시스템에는 제조 및 진단 작업의 고급 로깅을 지원하는 프로그래밍 가능한 대상 ID (target ID) 가 있습니다. 전반적으로, KLA AIT UV + 는 강력하고 포괄적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치로서, 고급 반도체 제작에서 프로세스 제어 및 분석을위한 광범위한 기능을 제공합니다. 높은 정확성과 반복 가능한 측정, 유연성을 제공하여 최적의 최종 제품의 품질을 보장합니다.