판매용 중고 KLA / TENCOR AIT UV #9211161

KLA/TENCOR AIT UV는 최고 수준의 정밀도 및 웨이퍼 테스트 결과를 제공하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 Optic과 Illumination Technology를 활용하여 웨이퍼 도량형에 대한 정확한 Optical Characterization을 제공합니다. 이 시스템은 다이 두께 (die thickness), 구형 반지름 (spherical radius) 및 평균 서피스 거칠기와 같은 다양한 웨이퍼 메트릭을 측정하도록 설계되었습니다. KLA AIT UV는 평면 및 원통형 웨이퍼 표면을 모두 측정할 수 있으며, 최대 12 인치까지 넓은 표면 영역의 테스트 샘플을 처리 할 수 있습니다. 이 단위를 고유하게 만드는 것은 높은 정확도와 초정밀도를 결합하는 능력입니다. 수동 웨이퍼 스위칭이 필요하지 않은 wih 양면 웨이퍼 척 스테이션이 장착되어 있습니다. 또한 2개의 옵티컬 센서와 고해상도 카메라가 장착되어 있어, 정확하고 효율적으로 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계의 고급 하드웨어 (advanced hardware) 는 또한 커브 피팅 (curve fitting) 및 패라메트릭 서피스 피팅 (parametric surface fitting) 과 같은 고급 데이터 분석 기술을 허용합니다. 또한 TENCOR AIT-UV 는 최대 4 개의 초고속 모션 모듈 (Ultra-High Speed Motion Module) 을 통해 확장이 가능하므로 단일 웨이퍼 또는 배치 데이터 인수에서 데이터를 대규모로 분석할 수 있습니다. AIT UV 는 고급 광 미디어 기술 (Optical Technology) 과 조명 기술 (Illumination Technology) 외에도 Wafer 테스트를 단순화하고 테스트 범위 증대를 위한 통합 데이터 세트 교환을 지원하는 지능형 자동화 아키텍처를 갖추고 있습니다. 이 제품은 KLA (Standard Data Acquisition) 소프트웨어와 완벽하게 통합되어 툴의 테스트 결과를 손쉽게 액세스, 분석할 수 있습니다. 또한 고급 모니터링 툴과 상태 LED (Status LED) 가 장착되어 있어 신속하고 간편한 문제 해결 및 로그를 자동으로 생성할 수 있습니다. KLA/TENCOR AIT-UV는 최고 수준의 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델로, 사용자에게 정확성과 반복성 모두에서 최고의 성능을 제공합니다. 완전하게 자동화된 웨이퍼 테스트와 고급 도량형 소프트웨어 (metrology software) 를 결합하여 완벽한 결과를 제공하며, 웨이퍼 생산량을 극대화하고, 재작업으로 인한 비용을 최소화합니다. 장비의 확장성은 또한 더 큰 샘플과 데이터 세트를 테스트, 분석 할 수 있습니다. 간단히 말해서 AIT-UV는 최적의 웨이퍼 테스트 성능을 보장하도록 설계되었습니다.