판매용 중고 KLA / TENCOR AIT UV #9161154

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ID: 9161154
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Darkfield inspection system, 12" P/N: 0083710-000 2004 vintage.
KLA/TENCOR AIT UV는 반도체 웨이퍼에서 발견되는 중요한 기능을 검사하고 측정하기 위해 설계된 고도로 전문화 된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 웨이퍼 테스트 시스템에는 자외선 레이저 소스와 고급 광학 (optic) 이 장착되어 있어 웨이퍼 표면을 빠르고, 정확하며, 안정적으로 검사할 수 있습니다. KLA AIT UV 장치는 4 포트 UV 레이저 소스와 자동 스캐닝 머신의 두 가지 주요 하위 시스템으로 구성됩니다. 4 포트 UV 레이저 소스는 웨이퍼의 사용자 정의 실시간 조명을 제공하며, 이는 웨이퍼 표면의 지형을 평가하는 데 사용할 수 있습니다. 그러면 자동 스캐닝 도구 (automated scanning tool) 는 레이저 소스를 웨이퍼 서피스를 가로 질러 이동하여 중요한 피쳐를 정확하게 측정합니다. 이미징 자산은 매우 민감한 CCD (charge-coupled device) 카메라를 사용하여 웨이퍼 표면의 이미지를 캡처합니다. 그런 다음, 전용 알고리즘으로 처리하여 웨이퍼에 있는 피쳐의 높이, 크기, 모양을 정확하게 측정합니다. TENCOR AIT-UV 모델은 널리 사용되는 웨이퍼 도량형 방법인 TALYS (Test Automation Language for Yield Systems) 를 포함한 여러 업계 표준 프로토콜로 인증되었습니다. 이로써, 장비는 중요한 기능을 정확하게 측정할 수 있다는 자신감을 갖게 되는데, 이는 집적 회로 (integrated circuit) 의 지속적인 개발 및 제조에 필수적인 요소입니다. AIT UV 시스템은 또한 고급 보고 (Advanced Reporting) 기능을 제공하여 웨이퍼 측정에 대한 자세한 데이터를 제공할 수 있으며, 결과는 인터넷을 통해 안전하게 처리, 공유할 수 있습니다. 따라서 프로세스 엔지니어 (Process Engineer) 및 기타 인력이 위치에 관계없이 최신 정보에 액세스할 수 있습니다. TENCOR AIT UV (TENCOR AIT UV) 는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 귀중한 도구이며, 반도체 웨이퍼에서 발견되는 중요한 기능에 대한 빠르고 정확하며 상세한 측정을 제공합니다. 이 기술은 엔지니어가 제품의 신뢰성을 보장하고 생산 프로세스를 개선하는 데 도움이 되는 중요한 통찰력을 제공할 수 있습니다 (영문).
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