판매용 중고 KLA / TENCOR AIT UV #9147837

KLA/TENCOR AIT UV는 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 AIT (Advanced Inspection Technology) 장비입니다. AIT 시스템은 품질 관리 (Quality Control) 를 위해 반도체 웨이퍼 (Wafer) 표면에서 가장 작은 결함을 식별하고 측정하는 문제를 해결하도록 설계되었습니다. KLA AIT UV (CLA AIT UV) 는 자외선 및 고급 이미지 처리 알고리즘을 활용하여 반도체 웨이퍼의 표면을 가장 정확한 수준으로 검사하는 독특한 시스템입니다. 이 장치는 고해상도 카메라 (2 대) 를 활용해 입사와 반사광이 동심원에 배치된 웨이퍼 (wafer) 각 면의 이미지를 캡처하고 응용과 필요에 따라 검사 (inspection) 과정의 속도를 선택할 수 있다. 카메라는 복잡한 2D 이미지를 생성하고 이러한 이미지를 온보드 이미지 프로세서 (On-board Image Processor) 로 전송하도록 구성되며, 이 이미지 프로세서는 전용 알고리즘을 적용하여 웨이퍼의 잠재적 결함을 감지, 분류 및 측정합니다. 캡처된 이미지는 전문 소프트웨어를 사용하여 저장 및 분석할 수 있습니다. 이 기계는 또한 하나의 나노 미터 (nanometer) 정확도까지 결함을 감지 할 수있는 고급 광학 경로를 특징으로합니다. 고급 옵티컬 렌즈 (Optical Lens) 는 웨이퍼 (Wafer) 의 매우 상세한 UV 이미지를 가까운 거리에서 투영하는 데 사용되며 작업 거리가 짧아 최대 정확도를 제공합니다. 박막, 입자, 기타 오염 물질 또는 레이어의 디스플레이 결함으로 코팅 된 웨이퍼를 검사 할 수 있으며, 다양한 결함 분류 기능을 제공합니다. TENCOR AIT-UV에는 검사 프로세스를 용이하게하기위한 광범위한 자동화 기능이 있습니다. 실시간 결함 특성, 패턴 인식 (pattern recognition), 웨이퍼 정렬 제어 (wafer sorting control) 는 웨이퍼 제작 및 프로세스 모니터링을 위한 광범위한 애플리케이션을 지원하는 기능입니다. 게다가, 강력한 자동화 기능은 반복 가능한 테스트/측정 프로세스를 제공하여, 운영자가 처리량을 높이고 인건비를 절감할 수 있게 해 줍니다. 마지막으로, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 웨이퍼 검사 프로세스가 쉽게 구성되고 작동되도록 보장하는 반면, 소프트웨어 통합 (software integration) 은 다른 산업 장비와의 도구 호환성을 용이하게 합니다. 이 자산은 반도체 업계에서 요구되는 최고 수준의 성능과 고해상도 이미징 (high-resolution imaging), 미세한 해상도 (microscopic resolution), 자동화 (automation) 의 조합을 충족시켜 웨이퍼 테스트 및 도량형에 이상적인 솔루션이 됩니다.