판매용 중고 KLA / TENCOR AIT UV #9124364

KLA/TENCOR AIT UV는 반도체 웨이퍼의 결함을 정확하게 감지하고 측정하도록 설계된 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 제품은 IC (Integrated Circuit) 제조 공정의 고속 및 정확도 요구 사항을 충족시키기 위해 웨이퍼의 품질을 평가하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 고급 광학 이미징 기술을 기반으로하며 두 가지 다른 최첨단 광학 시스템 인 UV 및 nano-Fourier 변환 적외선 (FTIR) 현미경을 갖추고 있습니다. UV 현미경은 고해상도 및 저소음 수준의 이미지 데이터를 캡처하는 반면, FTIR 현미경은 화학적 분석 및 웨이퍼 표면의 입자 검출을 용이하게합니다. 또한, 적응형, 자가 위치 레이저 스캔 기술과 빠르고 정밀한 이미징 및 측정을 위한 자동 초점 장치 (auto-focusing unit) 가 장착되어 있습니다. KLA AIT UV는 휴대용 공수 기계로 구덩이, 긁힘, 입자, 투명한 입자, 범프, 뒤틀기 등 다양한 웨이퍼 결함을 측정 할 수 있습니다. 또한 이상을 감지하고 웨이퍼 표면 분석을 수행하는 데 사용할 수 있습니다. 유연성 향상을 위해 이 도구에는 드라이버 프로그램, 웨이퍼 매핑 소프트웨어, KLA 독점 AlignToVision, 고정밀도 정렬 제어 등 다양한 도구가 포함되어 있습니다. 높은 데이터 충실도를 위해, 자산은 고급 이미지 및 데이터 처리를 지원하기 위해 디지털 신호 프로세서 (digital signal processor) 를 통합합니다. 정확도를 더욱 향상시키기 위해 MEMS (Microelectromechanical systems) 이미징 기술을 사용하여 미세 상관 관계 및 고해상도 측정을 수행합니다. 또한 TENCOR AIT-UV는 대비, 배경, 선명도, 노이즈 및 이상치 검색과 같은 웨이퍼 특성에 대한 피드백을 제공합니다. AIT UV 의 다른 기능으로는 여러 가지 테스트 모드, 웹 인터페이스를 통한 원격 운영, 강력한 모델 예비 (fallback) 보호, 다양한 SEMI 표준 지원 등이 있습니다. 이 장비는 또한 환경 및 산업 안전 요구 사항 (Environmental and Industrial Safety Required) 을 충족하도록 설계되었으며, 이를 거친 제조 환경에서 사용할 수 있습니다. 결국, KLA AIT-UV 는 경제적인 가격으로 안정적이고, 고해상도 이미징, 도량형 기능을 제공하는 강력한 품질 제어 시스템입니다. 보다 빠르고 정확한 측정이 가능하며, 자세한 피드백 (feedback) 과 통찰력을 제공하여 운영 효율성을 향상시킵니다.