판매용 중고 KLA / TENCOR AIT UV #9083786

KLA/TENCOR AIT UV는 혁신적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 중요한 실시간 결함 데이터의 수집, 분석 및 보고를 가능하게 합니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼에 대한 고급 자동 검사를 제공하며, 미세 구조물의 탐지 및 측정에 이상적입니다. KLA AIT UV는 웨이퍼 테스트, 도량형, 인라인 제어 및 결함 측정을 단일 단위로 결합한 강력한 기계입니다. 고급 광학 및 스캔 기술을 사용하여 웨이퍼 표면을 확인하고 측정합니다. 자동화된 머신은 정확도가 높은 빠르고 안정적인 측정값을 제공하며, 개별 필름, 다중 레이어로 구성된 필름, 패턴화된 웨이퍼 (wafer) 서피스 등을 검사할 수 있습니다. 이 툴의 독보적인 광 스캐닝 (optical scanning) 기술과 자동화된 결함 인식/선택 기능을 통해 크기, 모양, 위치 정보로 결함을 감지하고 측정할 수 있습니다. 그런 다음 이 정보를 사용하여 생산 중 웨이퍼 (wafer) 의 진행 상황을 모니터링하여 수율을 극대화할 수 있습니다. 또한 TENCOR AIT-UV에는 사용자가 자산 측정 프로세스를 사용자 정의할 수 있는 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 결함 검사 및 측정을 위한 매개변수 선택을 용이하게 하며, 과거/현재 웨이퍼 (wafer) 정보와 데이터를 쉽게 비교할 수 있습니다. KLA/TENCOR AIT-UV에는 포괄적인 보고 기능도 제공됩니다. 여기에는 검사 (Inspection) 및 도량형 (Metrology) 결과에 대한 자세한 분석, 최종 사용자가 필요할 때 필요한 정보를 제공할 수 있도록 하는 광범위한 보고 형식 (Reporting Format) 등이 포함됩니다. 전반적으로, TENCOR AIT UV는 광학적으로 고급 스캐닝 (scanning) 과 자동 결함 인식 (automated defect recognition) 의 조합을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 생산에서 최대 수율을 달성하기 위해 높은 정확성과 안정적인 측정값을 제공합니다. 또한, 이 장비에는 사용자 편의를 위한 맞춤형 소프트웨어 및 보고 기능이 포함되어 있습니다.