판매용 중고 KLA / TENCOR AIT III #293711267
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KLA/TENCOR AIT III는 반도체 장치 생산을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 온웨퍼 (on-wafer) 전기 테스트, 광학 및 열 테스트, 웨이퍼 표면의 특정 결함을 정확히 파악하는 등 다양한 고정도 측정을 허용합니다. KLA AIT III (CLA AIT III) 는 생산 라인의 수요가 많아 프로세스 관련 문제를 신속하게 감지할 수 있습니다. 풀 스케일 테스트에서 시간당 최대 수백 웨이퍼 (wafer) 의 처리량으로 최대 200mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 비용이 많이 드는 재작업을 방지하고, 모든 종류의 프로세스 관련 문제를 신속하게 파악하고 정량화할 수 있도록 설계되었습니다. TENCOR AIT III는 인라인 및 오프라인 테스트를 모두 제공 할 수 있습니다. 컬러 이미징, 입자 수, 다이 바이 (die-by-die) 수율 분석, 비닝, 광학 및 전기 결함 검색, 웨이퍼 균일 테스트 및 라인 에지 거칠기 측정이 가능합니다. 또한 웨이퍼 레벨에서 칩 레벨까지 테스트 할 수 있습니다. AIT III 은 고유의 Autofocus 소프트웨어 (Autofocus 소프트웨어) 에 의해 구동되며, 이는 대용량 운영 환경에서 테스트하는 데 필요한 높은 데이터 전송률에서도 신속한 디바이스 인식 기능을 제공합니다. 또한 플래시 프로그래밍 가능한 DSP 머신을 통해 포괄적인 실시간 분석 및 프로세스 모니터링이 가능합니다. 예를 들어, 이 툴을 사용하면 모든 패턴 인식 (pattern recognition) 을 모니터링하거나 프로세스 중에 성능 문제가 발생할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR AIT III는 반도체 장치 생산을위한 강력한 도구입니다. 다양한 정확한 측정 값을 제공하며 인라인 (in-line) 및 오프라인 (off-line) 으로 사용할 수 있습니다. 강력한 DSP 에셋과 결합된 독보적인 Autofocus 소프트웨어는 디바이스 생산 및 테스트에 매우 유용합니다.
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