판매용 중고 KLA / TENCOR AIT II #9281087

KLA/TENCOR AIT II는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 다양한 유형의 웨이퍼 레벨 검사 작업에 대한 높은 처리량과 정확성을 제공합니다. 고급 옵틱, 높은 정확도 모션 컨트롤 및 소프트웨어를 갖춘 KLA AIT II는 웨이퍼에 인쇄 된 패턴에 대해 빠르고 안정적인 도량형 및 테스트를 제공합니다. TENCOR AIT II는 풀 필드 이미징 기능과 스캐닝 전자 현미경 (SEM) 을 결합한 하이브리드 시스템입니다. 웨이퍼 서피스에 인쇄되는 패턴의 형상 모양, 크기, 위치, 분포 및 레이어 두께를 측정하도록 설계되었습니다. 이 장치는 시간당 5000-10000 웨이퍼 (WPH) 의 속도로 테스트 할 수 있습니다. AIT II에는 최대 4 개의 카메라가 장착 된 통합 광학 검사 모듈이 있습니다. 카메라는 웨이퍼 이미지를 캡처하고 패턴 크기를 측정하는 데 사용됩니다. 패턴 (pattern) 을 측정한 후 표준 (standard) 과 비교하여 원하는 프로세스 사양을 충족하는지 확인합니다. 이 기계의 소프트웨어는 또한 선 너비 측정, 시트 저항 측정, 그레인 크기 측정 등 다양한 분석 옵션을 제공합니다. 이 소프트웨어를 사용하여 결함 매개변수를 정의하고 임계 치수를 제어할 수도 있습니다. 또한이 도구는 통합 스캐닝 전자 현미경 (SEM) 을 특징으로하며, 이는 웨이퍼의 지형을 측정하는 데 사용됩니다. 따라서 프로세스 제어를 최적화하고 프로세스 장애를 파악할 수 있습니다 (영문). 또한 "셈 '은 가공 된" 웨이퍼' 표면 에 있는 오염 물질 이나 금속 "필름 '의 존재 를 정확 하게 탐지 한다. 전반적으로 KLA/TENCOR AIT II는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 최첨단 기능을 제공합니다. 높은 정확도의 모션 컨트롤 시스템, 고급 옵틱, 패턴 분석 소프트웨어, 통합 스캐닝 전자 현미경으로, KLA AIT II는 프로세스 제어 및 결함 탐지에 적합한 선택입니다.