판매용 중고 KLA / TENCOR AIT II #293595222
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KLA/TENCOR AIT II는 반도체 산업을 위해 설계된 최첨단 자동 인라인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 205, 300 및 450mm를 포함한 다양한 웨이퍼 유형을 지원합니다. 임계 치수 (CD), 필름 두께, 에치 깊이, 산화물 두께 및 CMP (chemical-mechanical planarization) 프로세스 모니터링을 포함한 광범위한 매개 변수에서 신뢰할 수 있고 정확한 측정을 제공합니다. 이 장치는 광학 이미징, 산란 측량 및 도량형 기술의 조합을 사용하여 복잡한 반도체 구조를 정확하게 측정합니다. 이 기계는 고급 신호 처리 알고리즘, 데이터 기반 패턴 인식 솔루션 및 고급 기계 학습과 통합됩니다. 이 기술을 사용하면 수동 측정보다 정확하고 포괄적인 데이터를 신속하게 제공할 수 있습니다. 또한 다양한 소프트웨어 툴과 데이터 분석 툴 (data analysis tools) 이 통합되어 중요한 프로세스와 품질 지표 (quality metrics) 를 신속하게 평가할 수 있습니다. KLA AIT II는 또한 정확하고 안정적인 고출력 테스트 솔루션을 제공합니다. 조정 가능한 시선 (LOS) 및 발병 각도 (AOI) 기능을 통해 사용자는 CD 측정을 최적화 할 수 있습니다. 에셋은 또한 입자, 파편, 변색을 포함하여 웨이퍼 표면에서 분별하기 어려운 특징과 결함을 식별 할 수 있습니다. 이는 잘못된 정렬과 부정확성의 위험을 줄여 손실 (loss) 을 초래할 수 있습니다. 모듈식/업그레이드 가능한 아키텍처를 갖춘 TENCOR AIT II는 프로세스 개발에서 운영에 이르기까지 효율적이고 경제적인 테스트 솔루션을 제공합니다. 간편한 운영/유지 관리를 위해 사용자 환경에 적합한 인터페이스뿐만 아니라, 원격 지원 기능을 제공합니다. 또한 DfX, SPC, APC (Advanced Process Control) 등을 포함한 광범위한 플랫폼이 장착되어 있습니다. AIT II는 혁신적이고 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 반도체 업계에 안정적이고, 정확하며, 비용 효율적인 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비의 고급 신호 처리 알고리즘, 데이터 기반 패턴 인식 솔루션, 정교한 머신 러닝 (machine learning) 기능은 정확한 측정과 뛰어난 품질 제어를 보장합니다. 또한 유연한 아키텍처, 맞춤형 구성 옵션, 원격 지원 기능을 통해 효율적이고 경제적인 테스트 솔루션을 제공합니다.
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