판매용 중고 KLA / TENCOR AIT Fusion #9273897

KLA/TENCOR AIT Fusion은 완전한 웨이퍼 검사 솔루션을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 지형, 전기 및 구조 특성을 포함한 다양한 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 매개변수를 평가하도록 설계되었습니다. 고급 소프트웨어와 여러 가지 정확한 광학 도량형 (optical metrology) 기술을 결합하여 안정적이고 정확한 측정 수준을 제공합니다. KLA AIT Fusion 장치는 웨이퍼 플랫폼, 이미징 머신 및 측정 구성 요소로 구성됩니다. 이를 통해 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼의 지형과 물리적 특성을 동시에 측정 할 수 있습니다. 그런 다음 이러한 측정을 사용하여 서피스 및 내부 결함을 감지하고 수율, 프로세스 균일성, 웨이퍼 형상을 평가할 수 있습니다. 이 도구는 고급 광학 자산 (Advanced Optical Asset) 을 사용하여 다른 배율로 와퍼 (Wafer) 의 다른 표면의 이미지를 캡처합니다. 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 과 정교한 알고리즘을 결합하여, 모델의 이미징 장비는 전통적인 자동 검사 방법이 감지 할 수없는 웨이퍼 (Wafer) 의 표면 및 지표면 결함 (Subsurface Defect) 과 같은 결함을 감지하고 분석 할 수 있습니다. 시스템은 또한 비접촉적 (non-contact) 및 비 침습적 (non-invasive) 방식으로 웨이퍼 프로버로 웨이퍼의 전기 특성을 측정하는 데 사용될 수있다. 웨이퍼 프로버는 웨이퍼 레벨 기능의 자동 검사 및 특성화를 위해 특별히 설계되었습니다. 웨이퍼 프로버 (wafer prober) 는 사용자가 다른 맥락에서 웨이퍼의 임피던스, 커패시턴스, 저항, 누출 전류, 전력 소산 및 기타 전기 매개변수를 측정 할 수 있도록 허용합니다. 이 장치는 또한 데이터 분석 및 처리를 위해 일련의 소프트웨어 도구를 제공합니다. 여기에는 프로파일 데이터의 자동 처리, 해석, 사용자 정의 보고서 생성, 데이터 마이닝 등의 분석 기능이 포함됩니다. 또한 소프트웨어를 사용하여 제 2 의 추세 분석 및 최적화 데이터를 얻을 수 있습니다. TENCOR AIT Fusion 기계는 반도체 산업의 연구와 생산에 널리 사용됩니다. '웨이퍼 테스트 (Wafer Testing)' 와 '도량형 (Metrology)' 을 위한 강력하고 다양한 도구를 제공합니다.