판매용 중고 KLA / TENCOR AIT Fusion #9240636
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KLA/TENCOR AIT 퓨전 (KLA/TENCOR AIT Fusion) 은 wafer 테스트 및 도량형 장비로 엔지니어가 제조 공정의 무결성을 빠르고, 정확하며, 안정적으로 평가할 수 있습니다. 테스트, 도량형, 분석 도구의 조합을 통해 Wafer 품질을 빠르고 철저하게 평가할 수 있습니다. KLA AIT Fusion 시스템은 여러 가지 구성 요소로 구성되어 있으며, 최상의 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 장치 분석 (Unit Analysis) 모듈은 종합적인 분석을 통해 엔지니어가 웨이퍼 결함 또는 추세를 파악하고 전체 제품 품질에 미치는 영향을 확인할 수 있습니다. TENCOR AIT Fusion Detector Module은 웨이퍼의 작은 결함과 이상을 식별하는 데 도움이되는 웨이퍼 검사 구성 요소입니다. 시각 검사 모듈 (Visual Inspection Module) 은 높은 정확도와 해상도로 모든 웨이퍼를 전체적으로 시각적으로 검사합니다. AIT Fusion Testing Module은 790nm 레이저 기술을 사용하여 전기 웨이퍼 테스트를 수행합니다. 이 모듈은 빠르고 안정적인 참조 및 패라메트릭 (parametric) 테스트를 제공하여 엔지니어가 중요한 의사 결정을 내릴 수 있도록 합니다. 이미징 모듈 (Imaging Module) 은 고대비 이미징 기능을 제공하여 엔지니어가 가장 작은 결함을 볼 수 있습니다. KLA/TENCOR AIT Fusion Metrology Module은 컴퓨터의 핵심 구성 요소입니다. 엔지니어는 scatterometry, spectroscopy 및 advanced surface analysision을 사용하여 wafer의 임계 크기를 7 um 작게 측정 할 수 있습니다. 이 모듈은 또한 표면 거칠기 (surface roughness) 및 이상을 측정하는 등 서피스 마무리에 대한 자동 평가를 제공합니다. KLA AIT Fusion Reporting Module 은 직관적인 데이터 보고 및 시각화 기능을 제공하여 복잡한 데이터를 손쉽게 이해하고 작업할 수 있게 해 줍니다. 모든 테스트 결과는 자동으로 컴파일되고 단일 보고서 (One Report) 로 표시되며, 자세한 Wafer 품질 및 무결성 기록을 제공합니다. 간단히 말해서, TENCOR AIT Fusion은 테스트, 도량형 및 분석 도구를 결합하여 정확하고 안정적인 결과를 제공하는 포괄적 인 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 이 자산은 첨단 레이저 기술을 활용하여 소규모 결함 (small-scale defects) 과 이상 (anomalies) 에 대한 상세한 데이터를 제공할 수 있으며, 엔지니어가 신뢰성 있고 포괄적인 분석을 바탕으로 정보화된 의사 결정을 내릴 수 있습니다.
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