판매용 중고 KLA / TENCOR AIT Fusion #9211135

KLA/TENCOR AIT Fusion은 반도체 웨이퍼 제조에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA 와 TENCOR 의 두 가지 주요 구성요소를 결합하여 포괄적인 솔루션을 구축함으로써 "일회성 (one-size-fits-all)" 요구를 충족합니다. KLA AIT Fusion은 KLA/TENCOR의 기능이 풍부한 자동 광학 검사 플랫폼과 KLA의 웨이퍼 레벨 도량형 시스템을 결합합니다. 이러한 구성요소가 함께 작동하면, 미크론 정밀도로 고해상도, 결함이 없는 장치를 측정할 수 있는 포괄적인 모니터링 (monitoring) 및 데이터 분석 장치 (data analysis unit) 가 생성됩니다. 이 기계의 핵심은 마이크로크래킹 (microcracking), 공백 (void), 기타 문제 등 다양한 웨이퍼 결함을 감지할 수 있는 카메라 기반 이미징 도구입니다. 이 자산은 TENCOR의 웨이퍼 레벨 도량형 모델과 연결되어 다이 레벨 전기 매개 변수를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 두 컴포넌트의 통합을 통해 장치 특성과 결함 (단일 웨이퍼) 을 동시에 측정, 검토할 수 있습니다. TENCOR AIT Fusion은 고급 포스트 프로세스 분석 기능을 제공하여 두 컴포넌트의 데이터를 처리합니다. 이 분석을 통해 결함 유형, 디바이스 수율, 프로세스 매개변수 등 다양한 매개 변수를 평가할 수 있습니다. 또한, SPC (Statistical Process Control) 및 보고서 작성을 용이하게하는 일련의 도구를 제공합니다. AIT Fusion은 웨이퍼 제작의 개발 및 생산 단계 모두에 적합합니다. 이를 통해 디바이스를 정확하고, 포괄적이며, 효율적으로 측정할 수 있으며, 웨이퍼 (wafer) 검사를 위한 검토 프로세스를 동시에 수행할 수 있습니다. 이러한 구성 요소 및 기능의 조합으로 인해 KLA/TENCOR AIT Fusion은 반도체 장치 제조에 사용할 수있는 매력적인 옵션입니다.