판매용 중고 KLA / TENCOR AIT 8010 #9278596

KLA/TENCOR AIT 8010은 반도체 산업에서 사용되는 웨이퍼 기판의 결함을 감지 및 측정 할 수있는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 이 고급 시스템은 고속 이미징과 통합 패턴 인식 알고리즘을 결합하여 많은 수의 웨이퍼를 검사하고 공백, 곡물 경계, 스크래치, 불균일 한 반도체 레이어 등 프로세스 관련 결함을 식별합니다. KLA AIT 8010은 여러 이미징 시스템을 사용하여 대규모 웨이퍼 영역을 포괄적으로 분석 할 수 있습니다. 고속 CMOS 라인 스캔 카메라 2 개와 DF-SEM (Dual-Field Scanning Electron Microscope) 이 특징입니다. 시스템의 핵심 구성 요소 인 DF-SEM (DF-SEM) 은 넓은 시야를 가지며 크기가 10 나노미터까지 미세한 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 웨이퍼 검사 (Wafer Inspection) 프로세스를 간소화하기 위해 개발된 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 로 구동되어 간단하고 효율적입니다. 여기에는 고속 CMOS 카메라와 DF-SEM의 이미지를 자동으로 처리하는 온보드 결함 분석 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 그런 다음, 소프트웨어에서 웨이퍼를 다양한 관심 영역 (region of interest) 으로 나누고 이미지를 미리 정의된 요구 사항 세트와 비교하여 모든 비정상적인 기능을 신속하게 감지 할 수 있습니다. 품질 관리 목적으로 TENCOR AIT 8010에는 광학, 전기 및 조성 특성을 측정하기위한 특수 센서가 포함되어 있습니다. 이 센서는 웨이퍼의 두께, 그레인 크기, 전기 특성에 대한 자세한 정보를 제공합니다. 레이저 간섭계를 사용하여 오버 에치 깊이의 서브 미크론 범위 측정도 수행 할 수 있습니다. AIT 8010 은 다양한 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 다양한 방식으로 구성할 수 있습니다. 최대 직경 200mm, 두께 500mm 의 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있으며, 자동 단계 이동 및 자동 초점 기능을 통해 다양한 샘플 위치와 크기에 걸쳐 높은 해상도를 측정할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR AIT 8010은 신뢰할 수 있고 견고한 기계로, 반도체 산업에 사용되는 웨이퍼에 대한 정확한 테스트 및 도량형을 제공합니다. 고급 이미징 시스템 (advanced imaging system), 통합 패턴 인식 알고리즘 (integrated pattern recognition algorithms) 및 특수 센서 (specialty sensor) 는 복잡한 웨이퍼 컴포넌트의 품질 제어에 유용한 도구입니다.