판매용 중고 KLA / TENCOR AIT 8010 #9206647

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ID: 9206647
빈티지: 1998
Particle counter 1998 vintage.
KLA/TENCOR AIT 8010은 결함 식별, 제품 특성 문서화, IC 수율 개선을위한 데이터 생성에 사용되는 KLA의 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 기계는 고성능, 향상된 처리량, 연산자 (operator) 와의 상호 작용을 최소화하도록 설계되었습니다. KLA AIT 8010은 강력한 이미징 광학, 웨이퍼 패턴 인식, 강력한 소프트웨어 알고리즘을 사용하여 탁월한 정확성과 반복성을 제공하는 자동 검사 도구입니다. TENCOR AIT 8010 의 독보적인 하드웨어/소프트웨어 기능을 통해 고급 도량형 (metrology) 기능을 비롯하여 탁월한 이미지 획득 및 분석 기능을 제공할 수 있습니다. 고출력 디지털 이미징 기술과 최대 255 나노미터 픽셀 해상도의 AIT 8010은 작은 기능과 결함을 정확하게 측정할 수 있습니다. 고급 패턴 인식 (Advanced Pattern Recognition) 을 사용하면 이음새와 균열을 모두 감지할 수 있으며, 여러 유형의 결함을 구분할 수 있습니다. 또한, 시스템의 고급 고도 정밀도 알고리즘은 치수 균일성 (dimensional unifority), 선 너비 (line width), 피쳐 깊이 (depth of features) 및 먼지 입자의 존재 (present of dust particles) 를 포함하여 임계 기판 매개변수를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한 KLA/TENCOR AIT 8010은 낮은 공차 내에서 매우 정확한 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 예를 들어, 0.0025 마이크로 미터 반복 가능성과 0.0015 마이크로 미터 정확도로 선 너비를 측정 할 수 있습니다. 이를 통해 단위가 먼지 입자, 긁힘, 공백 (void) 과 같은 작은 결함을 정확하게 식별하고 분류 할 수 있습니다. KLA AIT 8010은 또한 강력한 데이터 분석 (Data Analysis) 및 보고서 생성 기계 (Report Generation Machine) 를 특징으로하며 그래프 및 테이블 형식으로 포괄적인 분석을 제공합니다. 이 도구를 사용하면 다른 유형의 도량형 데이터 (metrology data) 와 독립적으로, 그리고 잠재적 수익률 손실의 원인과 원인을 신속하게 확인할 수 있습니다. 이 도구는 효율적이고 사용이 간편한 에셋으로 설계되었으며, 과학적인 사용자와 비과학적인 사용자 모두를 위해 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스 (user interface) 를 제공합니다. 이 인터페이스는 대부분의 표준 작업에 대해 단일 클릭 (single-click) 작업을 가능하게 하며, 각 응용 프로그램에 모델을 사용자정의하기 위한 다양한 설정 옵션과 기능이 포함되어 있습니다. 전반적으로 TENCOR AIT 8010은 강력하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션으로, IC 수율을 최대화할 수 있습니다. 이 장비는 사용하기 쉬운 인터페이스에서 고성능, 정확성, 반복성을 제공합니다. 고급 옵틱스 (Optics) 와 알고리즘 (Algorithm) 은 다양한 웨이퍼 테스트 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.
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