판매용 중고 KLA / TENCOR AIT 8010 #293778201

KLA/TENCOR AIT 8010은 대용량 반도체 제조를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 다양한 기능을 제공하며, 가상 필름, 산화 (oxidation), 에치 (etch), 예금 (deposit) 및 기타 중요한 애플리케이션에 정확한 데이터가 필요한 운영 라인을 위한 포괄적인 도량형 솔루션을 제공합니다. 이 시스템은 200mm 및 300mm 웨이퍼의 도량형 응용 프로그램을 위해 설계되었으며 200mm, 300mm 및 400mm 웨이퍼에 대한 옵션을 사용할 수 있습니다. 자동 웨이퍼 처리 장치 (automated wafer handling unit) 를 통해 웨이퍼를 빠르고 정확하게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이 기계에는 정밀, 초고해상도 이미지를 캡처할 수 있는 고해상도 3D 이미징 도구도 포함되어 있습니다. KLA AIT 8010은 다양한 측정 기능을 제공합니다. 여기에는 온보드 광학 현미경이 포함되어 있으며, 이는 0.1nm 해상도까지 측정 할 수 있습니다. 또한 시트 저항성 및 도펀트 밀도 테스트와 같은 통합 파라 메트릭 및 다중 파라 메트릭 기능이 있습니다. 또한 자산은 NV 센터 테스트 및 상호 연결 테스트를 지원합니다. TENCOR AIT 8010에는 분석, 제어 및 데이터 관리 도구가 포함된 매우 정교한 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 측정 매개변수를 쉽게 구성하고 제어할 수 있고, 결과를 적시에 얻을 수 있습니다. 이 모델은 또한 PDF, HTML 등 다양한 형식의 보고서를 생성할 수 있는 다양한 보고 옵션을 제공합니다 (영문). 이 장비는 측정 기능 외에도 다양한 샘플 (sample) 준비 옵션도 제공합니다. 여기에는 정밀도로 웨이퍼를 청소, 절단 및 처리하는 기능이 포함됩니다. 이 시스템은 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 포괄적인 안전 (safety) 기능을 갖춘 높은 수준의 안전성과 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. AIT 8010은 박막, 산화, 에치, 예금 및 기타 중요한 어플리케이션을 위한 포괄적이고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 정교한 옵틱, 자동화된 측정 시스템, 직관적인 소프트웨어 패키지는 대용량 반도체 제작을 위한 최상의 선택입니다.