판매용 중고 KLA / TENCOR AIT 1 #9086398

KLA/TENCOR AIT 1은 반도체 웨이퍼의 결함을 감지하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 프런트엔드 (Front-End) 제작 과정에서 작동하며 엔지니어에게 빠르고 정확하며 안정적인 결함 감지 기능을 제공합니다. 이 장치는 IMU (Integrated Measuration Unit), 스캐닝 웨이퍼 스테이지, 디지털 광 경로 및 결함 검사 도구의 네 가지 구성 요소로 구성됩니다. IMU는 스캐닝을 위해 웨이퍼 스테이지를 정확하게 배치 할 수있는 3 축 모터 제어 머신으로 구성됩니다. 이를 통해 결함 크기를 밀리미터 이내로 정확하게 측정 할 수 있습니다. 스캐닝 웨이퍼 스테이지 (scanning wafer stage) 는 스캐닝을 위해 웨이퍼를 배치하는 플랫폼입니다. 그것은 로봇 제어, 2 축, 변환 단계로 구성되며, 넓은 지역에서 빠르게 움직일 수 있습니다. 스캐닝 스테이지에는 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 를 추적하고 웨이퍼 표면의 맵을 생성하는 2 개의 고정밀 선형 트랜스듀서가 있습니다. 그런 다음 디지털 광학 경로 (optical path) 즉 광학 헤드 (optical head) 를 사용하여 스테이지에서 생성된 광원을 수집하여 각 결함의 위치와 크기를 분석, 계산합니다. 이 데이터는 결함을 감지하는 데 사용됩니다. 마지막으로, 결함 감지 도구 (defect detection tool) 는 수집된 데이터를 분석하고 추가 검사를 위해 결함을 식별하고 분류하는 데 사용되는 알고리즘 기반 도구입니다. KLA AIT 1 도구는 전체 웨이퍼 표면을 한 번에 분석하고 발견 된 각 결함에 대한 자세한 검사 정보를 제공하도록 설계되었습니다. 자산은 자동화되므로 수동 (manual) 및 자동 (automated) 검사 모두에 사용할 수 있습니다. 자동화된 검사 (Automated Inspection) 는 사람의 오류 발생 가능성이 높지 않기 때문에 일관된 결과에 매우 유용합니다. 이 모델은 또한 시뮬레이션, 프로세스 제어 (process control) 또는 리소그래피 (lithography) 와 같은 다른 시스템과 상호 작용하여 결함 크기, 모양 및 위치에 대한 정확한 정보를 제공 할 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR AIT 1 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 결함 감지를 위한 신뢰할 수 있고 사용자 친화적 인 솔루션입니다. 이 시스템은 정확하고, 정확하고, 포괄적인 결과를 제공하며, 이는 제조 프로세스를 개선하고, 수율을 늘리는 데 사용될 수 있습니다.