판매용 중고 KLA / TENCOR AIT 1 #9043941
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KLA/TENCOR AIT 1은 위탁 웨이퍼 테스트 및 수신 웨이퍼 검사를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 완전하게 자동화된 Wafer Testing 기능을 갖춘 강력하고, 다양하며, 신뢰할 수 있는 시스템입니다. 시간당 최대 200 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 대화형 메뉴, 실시간 결과, 그래픽 트렌드 차트가 포함 된 대형 터치 스크린 디스플레이가 특징입니다. 이러한 구성은 프로세스 제어 및 항복 분석 모두에 최적화되어 있습니다. 최대 200mm 직경의 웨이퍼와 최대 0.5mm 두께로 작동합니다. 또한 일련의 광학 및 웨이퍼 처리 센서, 프로브 및 측정 어셈블리가 장착되어 있습니다. 이 장치는 전체 웨이퍼에 걸쳐 접촉 각도, 커패시턴스, 추적 가능성 및 균일성과 같은 포괄적 인 측정을 제공합니다. 또한 지형, 결절, 평평, 전기 특성, 결함 및 기타 많은 특징을 정확하게 측정하는 특수 도량형 기계가 포함되어 있습니다. 정확하게는 1 미크론까지 측정 할 수 있습니다. KLA AIT 1은 빠른 웨이퍼 로드 및 설정을 위해 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 를 실행하는 컴퓨터에 의해 구동됩니다. 이 GUI를 사용하면 연산자가 웨이퍼 맵에 패턴을 입력하고, 사전 설정을 설정하고, 테스트를 실행하고, 데이터 결과를 분석할 수 있습니다. 여러 프로세스를 동시에 수행할 수 있으며, 다른 시스템으로 데이터를 익스포트하여 추가 분석을 수행할 수 있습니다. 또한 표, 플롯, 이미지, 로그 파일 등 다양한 보고 기능을 제공합니다. 또한 고급 웨이퍼 테스트 (Advanced Wafer Testing) 및 다양한 온라인 측정 기능을 통해 사용자가 가동 시간을 최대화할 수 있으므로 비용을 절감할 수 있습니다. 또한 TENCOR AIT 1은 손쉬운 운영, 유지 보수 및 업그레이드를 위해 설계되었습니다. 인체 공학적 디자인과 견고성 강화 (rugged construction) 는 어떤 환경에서도 신속하게 배포하기에 적합합니다. AIT 1은 생산 라인, 실험실, 연구 센터의 광범위한 작업에 적합한 탁월한 솔루션입니다. 다용도 및 분석 기능으로 인해 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 에 이상적인 선택이되었습니다.
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