판매용 중고 KLA / TENCOR AIT 1 #9022108

KLA/TENCOR AIT 1은 반도체 산업을 위해 설계된 최고의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 결함 검사, 지형 측정, 웨이퍼 레벨 재료 특성, 표면 도량형 응용 프로그램 등 실리콘 웨이퍼에 대한 광범위한 광학 검사 및 도량형 솔루션을 제공합니다. 이 시스템은 수많은 자동화 (automation) 를 통해 이전보다 더 빠르고 정확하게 정밀 측정을 수행할 수 있으며, 이를 통해 반도체 제조 공정의 생산효율을 높이고 수익성을 극대화할 수 있습니다 (영문). KLA AIT 1에는 주사 전자 현미경 (SEM), 광학 밝은 장 영상 (OBFI), 스펙트럼 영상 (SI) 및 광학 3D 도량형 (3DM) 을 포함한 다양한 광학 테스트가 장착되어 있습니다. 매핑 알고리즘의 고화질 (High Definition) 은 웨이퍼 (Wafer) 표면에서 매우 작고 미묘한 피쳐를 감지하여 매우 정확하고 정확한 결함 검사를 가능하게합니다. 또한 웨이퍼 (wafer) 의 정의된 사각형 (rectangular) 또는 원형 (circular) 영역에서 지형 및/또는 재료의 측정을 수행하는 기능을 제공합니다. 또한, 이 장치의 소프트웨어는 PSD (Power Spectral Density) 분석 용량을 가지고 있으며, 데이터 넓은 영역을 빠르고 정확하게 분석할 수 있으며, 광학 측정 (Optical Measurements) 의 교정뿐만 아니라 결함 감지 기능이 향상되었습니다. TENCOR AIT 1의 고급 검사 및 도량형 (metrology) 기능은 반도체 산업을위한 강력하고 신뢰할 수있는 기계입니다. 3D 표면 지형 특성, 웨이퍼 레벨 변경 테스트, 다이-투-다이 및 레이어-레이어 인터페이스 결함 측정, 비파괴 테스트, 박막 도량형 및 3D 표면 프로파일로메트리 등 광범위한 테스트를 수행 할 수 있습니다. 게다가, 입자 오염, 전기 화학 이동을 포함하여 다양한 유형의 패턴과 결함을 식별하고 특성화하고, 표면 물질을 정확하게 감지하고 재구성 할 수있는 능력을 가지고 있습니다. 또한 AIT 1 은 특정한 요구 사항과 애플리케이션에 손쉽게 적응할 수 있는 유연성을 제공합니다. 즉, 외부 시스템, 주변 장비와 손쉽게 통합하여 기능을 강화할 수 있습니다. 여러 정렬 패키지 (Alignment Package) 도 사용할 수 있으며, 여러 웨이퍼에 걸쳐 나노미터 정밀도로 프로덕션 배치를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 검증된 성능을 제공하도록 설계되었으며, 신뢰성이 높은 반도체 제조 어플리케이션을 위한 24/7 (24/7) 의 높은 처리량을 제공하며, 포괄적인 서비스 플랫폼과 함께 제공되어 사용자에게 빠른 응답과 간편한 유지 관리를 보장합니다. 요약하면, KLA/TENCOR AIT 1은 반도체 산업을 위해 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 모델로, 고급 결함 검사, 지형 측정 및 웨이퍼 수준의 재료 특성을 제공합니다. 이 장비는 풍부한 기능과 자동화 (automation) 를 통해 반도체 제조 공정에 대한 최대 생산 효율성과 수익성을 제공할 수 있습니다.