판매용 중고 KLA / TENCOR AIT 1 #188810
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KLA/TENCOR AIT 1은 정확하고 안정적인 측정을 위해 특별히 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 bare dies, completed devices, through-silicon-vias 및 foundry wafers에 이르기까지 다양한 샘플 유형을 분석하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치는 고급 광학, 이미징 시스템, 스캔 기술 및 컴퓨터 제어 자동화의 조합을 사용합니다. 광학 현미경은 미세한 결함의 존재 및 크기를 감지하고 측정 할 수있는 반면, 영상 (Imaging) 기술은 샘플의 이미지를 분석하기 위해 캡처합니다. 광학 시스템 배열은 콘택트 패드 (contact pad), 마이크로 범프 (micro-bumps), 본드 패드 (bond pad) 와 같은 전기 기능에 대한 고해상도 검사에 사용됩니다. 스캐닝 프로브 기술을 통해 다이 지형 및 전기 테스트 구조 (예: 트랜지스터, 다이오드) 를 상세하게 분석 할 수 있습니다. 자동 분석을 용이하게하기 위해 KLA AIT 1 기계에는 일련의 컴퓨터 제어 패턴 인식 알고리즘이 포함되어 있습니다. 이 알고리즘은 미세한 작은 결함 (microscopically small defects) 의 존재를 정확히 식별 할 수 있으며, 이는 맨눈으로 식별하기 어려울 수 있습니다. 이 알고리즘은 또한 장치 계산, 결함 현지화, 다이 투 다이 비교 (die-to-die comparisons) 와 같은 품질 제어 측정을 수행 할 수 있습니다. 이 툴은 고급 데이터 처리 기능을 통합하여 획득한 데이터를 처리합니다. 고급 통계 및 분석 방법 (Advanced statistics and analysics method) 은 그래프 및 히스토그램 형식으로 데이터를 표시하고 분석하는 데 사용되며, 샘플의 잠재적 문제를 식별하는 데 도움이 됩니다. 테스트 결과는 통합된 데이터베이스에 저장되므로 쉽게 액세스하고 검토할 수 있습니다. 이 자산은 사용자에게 신뢰할 수 있고, 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었으며, 최소한의 인적 개입으로 높은 샘플 수 (sample count) 를 분석할 수 있습니다. 이를 통해 TENCOR AIT 1 모델은 품질 관리 및 운영 라인 테스트에 이상적인 툴이 됩니다. 이 장비에는 높은 정확도, 빠른 측정 속도, 뛰어난 반복성, 사용이 간편한 인터페이스 (interface) 를 제공하는 다양한 기능과 옵션이 장착되어 있어 초보자 (novice user) 도 시스템 사용에 빠르게 능숙해집니다.
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