판매용 중고 KLA / TENCOR ADE 9500 #9389853

KLA / TENCOR ADE 9500
ID: 9389853
Ultra gauge multi-measurement system.
KLA/TENCOR ADE 9500은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 반도체 장치 웨이퍼 및 하위 조립 테스트와 관련된 거의 모든 응용 프로그램에 적합합니다. 이 시스템은 광학 현미경, 간섭계 (interferometer) 와 같은 온보드 도량형 장치를 활용하여 피쳐 크기, 모양, 균일성 (unifority) 을 신속하게 측정하고 평가하는 다양한 wafer probing 및 wafer 매핑 기능을 제공합니다. KLA ADE 9500에는 고정밀 모션 유닛 (motion unit) 이 장착되어 있으며, 두 X-Y (X-Y) 와 세타 회전 (Theta rotation) 을 모두 제공하여 다양한 웨이퍼 유형의 기능에 대한 정확한 매핑이 가능합니다. 이 기계에는 고해상도 배포 컨트롤러 (High-Resolution Distribution Controller), 웨이퍼 동작 도구 제어, 다중 채널 교환 가능한 하드웨어 플랫폼 (Multi-Channel Exchange Hardware Platform) 이 포함되어 있으며 다양한 웨이퍼 특성에 대한 온보드 동기화 측정 기능을 제공합니다. TENCOR ADE 9500의 Expert Asset Automation 소프트웨어 제품군은 사전 프로그래밍 된 웨이퍼 프로브 시퀀스 및 절차, 완전 자동 테스트 절차를 지원합니다. 완전한 자동 모델의 경우, ADE 9500 은 로봇 웨이퍼 로드/언로드 기능을 제공하므로 대용량 웨이퍼 테스트와 통합된 데이터 관리 시스템을 통해 테스트 데이터를 기록, 저장, 분석할 수 있습니다. KLA/TENCOR ADE 9500의 추가 기능에는 자동 환경 제어 및 모니터링을 지원하는 온도 및 활성 습도 제어, 정밀 결함 분석을위한 다중 센서 분석 모듈, 정적 및 동적 스트레스 분석 기능을 제공하는 웨이퍼 및 컴포넌트 스트레스 프로파일링 (wafer and component stress profiling) 이 포함됩니다. 또한 KLA ADE 9500은 다양한 기능을 빠르고 정확하게 3D 이미징 및 분석할 수 있는 고급 3D 현미경 기능을 제공합니다. TENCOR ADE 9500의 강력한 기능 세트는 많은 반도체 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 빠르고 정확한 이미징, 감지, 데이터 수집 기능, 정확한 도량형 (metrology) 활동에 이르기까지, ADE 9500 은 다양한 웨이퍼 (wafer) 에 대한 신뢰할 수 있는 결과를 제공하며, 최신 반도체 개발에 필요한 기능과 유연성을 모두 제공합니다.
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