판매용 중고 KLA / TENCOR ADE 9500 #9389842

KLA/TENCOR ADE 9500 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 웨이퍼 생산을 위해 정확하고, 안정적이며, 정확한 측정을 제공하도록 설계된 최첨단 프로세스 제어 솔루션입니다. 이 시스템은 자동화된 소프트웨어, 하드웨어, 측정 기능의 조합을 제공하여 제조업체가 실시간 프로세스 최적화 (real-time process optimization) 를 통해 향상된 수율을 달성할 수 있도록 지원합니다. KLA ADE 9500 장치는 자동 측정 스테이션 (AMS), 주사 전자 현미경 (SEM), 패턴 인식 기계 (PRS), 자동 결함 분석 (ADA), 결함 검토 도구 (DRS) 및 질량 데이터 컨트롤러 (MDC). AMS (Automated, Real-Time Testing and Metrology Station) 는 와퍼의 전기 및 물리적 특성을 높은 정확도로 측정하는 자동화된 실시간 테스트 및 도량형 스테이션입니다. SEM (High Resolution Imaging Asset) 은 웨이퍼 표면의 결함을 감지, 특성화 및 식별할 수 있는 고해상도 이미징 자산입니다. PRS는 웨이퍼에서 결함 패턴을 감지하고 특성화하도록 설계되었습니다. 이를 통해 제조업체는 프로세스 레시피를 최적화하여 결함을 줄일 수 있습니다. ADA 는 SEM 에서 감지하기 어려운 고립된 결함을 신속하게 식별할 수 있습니다. DRS 는 다양한 소스 (source) 의 이미지와 데이터를 검토할 수 있는 사용자 친화적인 인터페이스를 제공하는 소프트웨어 툴입니다. MDC (Mass Data Controller) 는 효과적인 데이터 수집을 위해 모든 모델 구성 요소를 통합하는 기능이 풍부한 소프트웨어 애플리케이션입니다. MDC는 전체 운영 라인에서 제품 및 기타 데이터에 대한 게이트 (Gate), 측정 (Measurement) 및 결함 검토를 허용합니다. MDC 는 데이터를 저장하고 처리하며, 기존 기술과 완벽하게 협력하여 완벽한 프로세스 솔루션을 구축합니다. TENCOR ADE 9500 장비를 통해 운영자는 실시간으로 문제를 신속하게 해결하고, 프로세스 효율을 높이고, 전체 생산 주기를 통해 수율을 향상시킬 수 있습니다. 또한 ADE 9500 은 Traceability 및 Secure Data Archiving 기능을 통합하여 업계 표준을 철저히 준수합니다. 따라서 사용자는 프로세스 안정성 향상, FAB 처리량 향상 등의 혜택을 누릴 수 있습니다.