판매용 중고 KLA / TENCOR ADE 9500 #9170555

KLA/TENCOR ADE 9500은 반도체 산업에서 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. Wafer (Wafer) 구성 프로세스 전반에 걸쳐 프로세스 매개변수를 빠르게 측정할 수 있는 강력한 도구입니다. 레이어 및 레이어의 두께, 피쳐의 깊이, 피쳐의 너비, 다중 전자 빔 매개변수 등을 측정할 수 있습니다. 또한 특정 프로세스에 맞게 구성된 테스트 및 도량형 레시피를위한 내장 라이브러리가 포함되어 있습니다. KLA ADE 9500은 유연하고, 빠르고, 신뢰할 수 있는 테스트 및 도량형을 제공하며, 동작 범위가 높고, 도량형이 정확하며, 시스템 응답 시간이 빠릅니다. 주사 전자 현미경 (SEM), 전동화 단계, 위치 지정 장치 사이의 긴밀한 통합으로 제작되었습니다. 동력 단계 (Motorized Stage) 와 포지셔닝 머신 (Positioning Machine) 으로 구성된 스테이션은 샘플을 테스트하고 측정하는 핵심 구성 요소입니다. 세엠 (SEM) 은 표면의 표면을 여러 각도에서 살펴볼 수 있으며, 동력 단계 (motorized stage) 는 고급 측정에 필요한 매우 정확한 움직임을 허용합니다. 또한 TENCOR ADE 9500에는 자동 초점 (AutoFocus), 장치 평면도 및 거칠기, 레이어 두께, 거칠기 등을 자동으로 측정하는 방법 등 여러 가지 고급 기능이 포함되어 있습니다. 측정 제어 제품군 (Measurement Control Suite) 은 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 통해 모든 테스트 및 측정을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 레이어 두께를 높은 정확도로 정확하게 측정할 수 있는 레이어 매핑 (layer mapping) 기능이 제공됩니다. ADE 9500 은 SPM (Scanning Probe Microscope), Stage Automation System, 다양한 컴퓨터 등 다른 계측 및 제어 시스템과 통합할 수 있는 개방형 아키텍처를 갖추고 있습니다. 또한, 다중 사용자 시스템과 완벽하게 호환되므로 유연하고, 빠르고, 신뢰할 수 있는 테스트가 가능합니다. 요약하면, KLA/TENCOR ADE 9500은 다양한 프로세스 매개변수를 정확하게 측정하기위한 포괄적인 기능이있는 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 즉, 높은 정확도와 속도로 구축되어 빠른 응답 시간 (response time) 을 통한 복잡한 측정이 가능합니다. 다른 시스템과 호환성이 높으며, 여러 기기의 통합을 위한 개방형 아키텍처를 제공합니다.