판매용 중고 KLA / TENCOR ADE 9500 #9169420

KLA/TENCOR ADE 9500은 고급 결함 감지 및 분석을 지원하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 photomask, wafer, flat panel display 등 다양한 기판의 결함을 검사하고 특성화하는 여러 기술이 포함되어 있습니다. KLA ADE 9500 장치는 고급 옵틱, 하드웨어, 소프트웨어를 조합하여 기능 크기, 라인 폭, 결함 크기, 위치를 정확하게 측정할 수 있습니다. KLATrimaxTM 이미징 머신 (CLATrimaxTM Imaging Machine) 에 의해 구동되어 최대 10 나노 미터의 고해상도 이미지를 제공 할 수 있습니다. 또한, 광학 반사계 (optical reflectometer) 는 다양한 재료의 반사도를 정확하게 측정하는 데 사용된다. 사용자 지정 패턴 인식 도구 (Customized Pattern Recognition Tool) 를 사용하여 검사 프로세스의 다양한 단계에서 결함 유형과 신호를 자동으로 인식할 수 있습니다. TENCOR ADE 9500 자산은 가장 까다롭고 까다로운 집적 회로 설계에서도 결함을 식별하고 분석할 수 있도록 설계되었습니다. 10 ~ 4,000 개의 옹스트롬 (Angstrom) 범위의 표면 지형 높이로 결함을 감지하고 측정 할 수 있습니다. 이러한 신호는 프로세스 수익률과 밀접한 관련이 있으므로, ADE 9500 모델을 사용하면 프로세스 제어를 강화하고 최적화할 수 있습니다. KLA/TENCOR ADE 9500 장비는 사용하기 쉽고 특정 애플리케이션에 신속하게 설치할 수 있습니다. 또한 수동 기판 적재 및 언로드를 통한 반자동 (semi-automation) 에서 완전 자동화 된 현장 시스템에 이르기까지 다양한 자동화 수준을 제공합니다. 이 시스템은 또한 Metrology Manager 소프트웨어 패키지와 통합되어 엔지니어가 실시간 SPC 소프트웨어를 통해 웨이퍼 표면을 검토하고 결함 데이터를 분석 할 수 있습니다. 이 기능을 통해 엔지니어는 다양한 결함 신호를 신속하게 평가할 수 있으며, 실행 가능한 정보 (Actionable Information) 를 제공하여 제조 프로세스를 최적화하고 수익률을 높일 수 있습니다. KLA ADE 9500 장치는 종합적이고, 고성능, 사용자 친화적인 도구로서 결함 감지, 분석 및 프로세스 제어를 정확하게 제공합니다. 반도체 IC (Semi-Conductor IC) 및 평면 패널 디스플레이에 적합하며, 엔지니어에게 프로세스 문제를 파악하고, 검사 시간을 줄이고, 전체 수율을 향상시키는 데 필요한 정보를 제공합니다.