판매용 중고 KLA / TENCOR Acrotec 6020 #9299334

ID: 9299334
Flat panel inspection system.
KLA/TENCOR Acrotec 6020 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 광학 기술 및 고급 알고리즘을 사용하여 테스트, 방사선 강화, 고성능 반도체 재료에 대한 매우 정확하고 고대역폭 특성화와 분석을 제공합니다. 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 에 대한 연마적이고 효율적인 접근 방식을 제공하며, 소프트웨어, 하드웨어, 측정 툴을 종합하여 상세하고, 편리하며, 반복 가능한 도량형 측정 및 데이터 분석을 지원합니다. KLA Acrotec 6020 (KLA Acrotec 6020) 은 측면 및 수직 해상도가 높은 넓은 시야를 특징으로하며, 다양한 웨이퍼 에지 (wafer edge) 모양을 측정하는 다양한 움직임을 제공합니다. 여기에는 광학 줌 (optical zoom) 과 자동 초점 (automatic focus) 과 정확하고 반복 가능한 측정이 가능한 고급 이미지 처리 기술이 포함되어 있습니다. 또한 고급 평면 및 임계 치수 (CD) 측정을위한 2 차원 레이저 변위 센서가 특징입니다. 이 장치는 고속, 다각도 이미징 머신과 강력한 3 축 스캐닝 헤드를 결합하여 동작 당 7 cm2 이상을 통과 할 수 있으며, 높은 샘플링 속도를 허용합니다. 또한 측정당 최대 2 기가바이트 (GB) 의 압축되지 않은 이미지 데이터를 생성할 수 있으며, 이는 매우 향상된 정확성과 반복성을 제공합니다. 또한 TENCOR 6020에는 강력하고 직관적인 레이블링 및 주석 툴킷 (Annotation Toolkit) 이 장착되어 있어 데이터 비교를 위해 웨이퍼의 기능을 신속하게 식별하고 주석을 달 수 있습니다. 또한 여러 대형 웨이퍼 그룹 (wafer group) 에 대한 자동 기능 비교가 가능하며, 네트워크 컴퓨터에 연결되어 결과를 전송하거나 오프사이트 (off-site) 분석을 활용할 수 있습니다. 도량형 엔지니어, 연구원 및 기술자는 Acrotec 6020을 사용하여 다양한 웨이퍼 및 방사선 강화 재료를 측정, 특성 및 분석 할 수 있습니다. 직관적 인 라벨 처리 및 주석 (annotation) 기능과 결합된 정확하고 반복 가능한 측정은 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 실험실에서 귀중한 도구가됩니다. KLA/TENCOR 6020 (KLA/TENCOR 6020) 을 사용하면 고급, 효율적인 웨이퍼 분석이 그 어느 때보 다 쉽고 액세스 가능합니다.
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