판매용 중고 KLA / TENCOR 9000 Surfscan #293621532
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KLA/TENCOR 9000 Surfscan은 다양한 반도체 장치의 중요한 특성을 평가하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. Surfscan 시스템은 강력한 자동 결함 감지 기능을 제공하여 빠르고, 안정적이며, 정확한 데이터를 제공합니다. 이 장치에는 도량형 제어 센터와 강력한 광학 기반 도량형 머신이 있으며, 0.25 미크론에서 1 미크론 사이의 기능을 측정 할 수 있습니다. 도량형 도구는 디지털 카메라와 12 비트 디지털 광학 신호 프로세서 (12 비트) 가 장착 된 레이저 스캐닝 자산으로 구성됩니다. 이 조합을 통해 모델은 다양한 결함의 크기와 모양 (size and shape) 을 캡처하고 정확하게 측정할 수 있으며, 결함 유형을 식별할 수 있습니다. Surfscan 장비에는 다양한 자동 결함 감지 기술이 장착되어 있습니다. 여기에는 공간 상관 관계, 동적 범위 상관 관계 및 패턴 인식 기술이 포함됩니다. 이 시스템에는 파장 의존 이미징 및 초해상도 이미징을 포함한 고급 이미징 기능이 있습니다. 이렇게 하면 접촉 구멍, 미니 격자 (mini-grid) 와 같은 상위 레벨 피쳐를 검사할 수 있습니다. 또한 Surfscan 장치에는 데이터 시각화 기능이 내장되어 있어 잠재적인 결함을 신속하게 파악, 해석, 분석할 수 있습니다. 사용자 인터페이스 (user interface) 는 매우 직관적이며, 운영자는 검사 결과를 빠르고 쉽게 이해할 수 있습니다. 또한, 기계의 소프트웨어는 도량형 (metrology) 도구에서 얻은 데이터를 추출하고 해석하도록 설계되어 결과에서 의미있는 결론을 도출하기 쉽습니다. KLA 9000 Surfscan은 반도체 장치를 검사하고 테스트하는 데 효과적이고 안정적인 도구입니다. 고급 도량형 (Advanced Metrology) 기능과 자동화된 결함 감지 (Automated Defect Detection) 기술을 통해 다양한 디바이스의 품질과 무결성을 정확하고 신속하게 평가할 수 있습니다. 이것은 이러한 장치를 개발, 제조 및 테스트하는 데 귀중한 도구입니다.
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