판매용 중고 KLA / TENCOR 8450 #9316171
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ID: 9316171
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM)
With PRI AUTOMATION GT6.
KLA/TENCOR 8450 Wafer Testing and Metrology Equipment는 고급 반도체 장치의 테스트 및 도량형 애플리케이션을 위해 설계된 다용도 자동 플랫폼입니다. 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 표면에서 가장 복잡한 결함까지도 식별하고 특성화할 수 있습니다. 다양한 비접촉, 정전식 측정 기술 및 강력한 스캔 기능이 있습니다. KLA 8450 장치는 매우 정확하고 자동화된 비전과 경량 도량형 기능을 갖추고 있습니다. 밝은 필드 (field) 와 어두운 필드 (dark field) 기술을 사용하여 표면 TOP 원자 도펀트 배치 및 복잡한 결함을 식별하는 고급 이미징 머신으로 제작되었으며, 구조 피쳐의 원자 높이와 크기를 측정 할 수도 있습니다. 이 도구는 나노 미터 범위의 복잡한 패턴 형 마이크로 서킷을 검사 할 수 있습니다. 자세한 3D 시각화 기능을 통해 오버레이 및 프로파일 등록 정보를 분석할 수 있습니다. 이 자산은 고속 데이터 캡처 및 분석에 최적화된 통합 DAS (Data Acquisition Model) 를 갖추고 있습니다. DAS 는 빠르고 정확한 결과를 제공하며, 테스트 기간을 연장하기 위해 많은 양의 데이터를 저장할 수 있습니다. 전체 장비 솔루션의 경우 시스템에 NMS (Nano Measurement Unit) 옵션이 제공됩니다. NMS는 나노 구조의 정확한 측정을위한 고급 나노 스케일 도량형 (advanced nanoscale metrology) 을 제공하여 치수 특성을 측정 할 수 있습니다. TENCOR 8450 머신은 최고 수준의 정확도, 안정성 및 성능을 제공합니다. 이 제품은 견고하고 확장성이 뛰어난 솔루션으로, 다양한 고급 반도체 (semiconductor) 장치에서 유연성과 적응을 가능하게 합니다. 최첨단 기술인 8450 은 반도체 기술의 테스트 및 도량형 (metrology) 애플리케이션을 위한 효과적인 솔루션을 제공합니다.
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