판매용 중고 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #9383420

ID: 9383420
빈티지: 1997
Inspection system Manual 1997 vintage.
KLA/TENCOR 7700M Surfscan은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 개별 다이 (die) 와 주사위 (dice) 의 전기 및 물리적 특성을 웨이퍼 형태로 측정하기위한 완전히 자동화 된 프로그래밍 가능한 도량형 시스템입니다. KLA 7700M 서프 스캔 (Surfscan) 은 매우 정밀한 광학 도량형 장치 (Optical Metrology Unit) 를 특징으로하며, 크기가 0.2 미크론에 불과한 결함을 감지하여 웨이퍼가 제조 용으로 보내지기 전에 결함이 없도록 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고성능 옵티컬 스튜디오 (Optical Studio) 응용 프로그램을 갖추고 있으며, 이 응용 프로그램은 웨이퍼의 모든 다이를 완전히 특성화합니다. 이 도구는 고출력 레이저 이미징, 3D 현미경, 광학 회절 등 다양한 기술을 활용합니다. 자산은 또한 효율성이 높으며, 하루에 수천 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한이 모델은 또한 임계 치수, 결함 밀도, 오버레이 및 에치 (etch) 와 같은 다이 특성의 세부 특성을 제공 할 수있는 고급 분석 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 이 데이터는 잠재적 수율 개선 기회를 식별하는 데 사용됩니다. TENCOR 7700M Surfscan의 다른 주요 기능으로는 인체 공학 디자인, 업계 표준 통신 프로토콜 지원, 강력한 통합 데이터 획득 장비 등이 있습니다. 따라서 복잡한 테스트 요구 사항을 손쉽게 처리할 수 있습니다. 전체적으로 7700M Surfscan은 반도체 산업을 위해 설계된 고급적이고 효율적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 강력한 광학 도량형 장치 (Optical Metrology Machine), 통합 데이터 획득 도구 (Integrated Data Acquisition Tool), 분석 소프트웨어 (Analysical Software) 를 통해 웨이퍼 결함을 신속하게 파악할 수 있으며 제조 용으로 전송되기 전에 웨이퍼에 결함이 없는지 확인할 수 있습니다.
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